Granittplattformen, som et referanseverktøy for presis måling og prosessering, påvirker nøyaktighetsvedlikehold direkte produksjonskvaliteten. Følgende gir en systematisk vedlikeholdsplan som dekker miljøkontroll, daglig vedlikehold og profesjonell kalibrering for å sikre at plattformen opprettholder nanometernøyaktighet over lang tid.
1. Miljøkontroll: Bygg en presisjonsbeskyttelsesbarriere
Temperatur- og fuktighetsstyring
Arbeidsmiljøtemperaturen må stabiliseres på 20 ± 1 ℃. Hver svingning på 1 ℃ vil forårsake termisk deformasjon av granittplattformen på 0,5–1 μm/m. Et konstant temperatursystem kan installeres i verkstedet for å forhindre at klimaanleggets utløp blåser direkte på plattformen.
Fuktigheten bør kontrolleres mellom 40 % og 60 %. For høy luftfuktighet kan lett forårsake rust på metalldeler, mens for lav luftfuktighet kan føre til statisk elektrisitetsforstyrrelser i målingen.
Vibrasjonsisolering
Plattformen bør holdes unna vibrasjonskilder som stemplemaskiner og fresemaskiner. Det anbefales å holde en avstand på mer enn 3 meter fra vibrasjonsutstyr.
Hvis vibrasjoner ikke kan unngås, kan luftfjærstøtdempere installeres nederst på plattformen for å redusere påvirkningen av miljøvibrasjoner på plattformens flathet (noe som kan redusere ekstern vibrasjon med mer enn 80 %).
2. Daglig vedlikehold: Nøye kontroll fra rengjøring til beskyttelse
Spesifikasjon for overflaterengjøring
Støvfjerning: Tørk av overflaten med hjorteskinn eller en lofri klut i samme retning hver dag for å forhindre at støvpartikler (≥5μm) riper opp plattformen. Gjenstridige flekker kan tørkes forsiktig av med vannfri etanol (renhet ≥99,7%). Sterke løsemidler som aceton må ikke brukes.
Avfetting: Hvis den kommer i kontakt med oljeflekker, tørk den av med et fortynnet nøytralt rengjøringsmiddel, skyll deretter med avionisert vann og lufttørk for å forhindre at mineralolje trenger inn i de små porene i plattformen.
Last- og kollisjonsbeskyttelse
Plattformens bæreevne bør kontrolleres innenfor 70 % av den nominelle lasten (for eksempel, for en plattform på 1000 kg anbefales det at lasten er ≤700 kg) for å unngå permanent deformasjon forårsaket av lokal overbelastning.
Det er strengt forbudt å slå arbeidsstykker på plattformen. Bruk myke hansker når du håndterer verktøy for å forhindre at skarpe gjenstander riper overflaten (riper med en dybde større enn 20 μm vil påvirke målingen av den reflekterte lysveien).
3. Profesjonell kalibrering: Kjernen i vitenskapelig opprettholdelse av nøyaktighet
Innstilling av kalibreringssyklus
Konvensjonelle bruksscenarioer: Kalibrer én gang hvert kvartal og bruk et laserinterferometer for å oppdage flathet (med en nøyaktighet på ±0,5 μm/m).
Høyfrekvent bruk eller tøffe miljøer: Månedlig kalibrering, med fokus på overvåking av temperaturfølsomme områder (som kanten av plattformen nær varmekilder).
Etterkalibreringsbehandling
Hvis det oppdages et avvik i planheten (for eksempel > ±1 μm/m), må den slipes og repareres av en profesjonell tekniker med W1.5 mikropulver. Selvsliping med sandpapir er strengt forbudt.
Etter kalibrering bør data registreres og arkiveres, og en nøyaktighetsdempningskurve for plattformen bør etableres for å forutsi vedlikeholdsbehov på forhånd.
4. Lagring og transport: Unngå skjult presisjonstap
Viktige punkter for langtidslagring
Ved oppbevaring bør den dekkes med et fukt- og støvtett trekk. Bunnen bør støttes av tre punkter (støttepunktet er plassert på 2/9 av plattformens lengde) for å forhindre bøying og deformasjon forårsaket av tyngdekraften (en 1 meter høy plattform kan sige med 0,3 μm på grunn av langvarig enkeltpunktsstøtte).
Flytt posisjonen til plattformstøttepunktene regelmessig (månedlig) for å unngå langvarig lokalt trykk.
Transportbeskyttelsesplan
Korttransport: Pakk inn i støtdempende skum, fest i en stiv ramme, og hold akselerasjonen innenfor 2 g.
Langtransport: Den må vakuumpakkes og fylles med tørr nitrogen. Etter ankomst bør den stå i 24 timer til temperaturen når likevekt før utpakking for å forhindre at kondensvann påvirker nøyaktigheten.
5. Feilprediksjon: Teknikker for å identifisere tidlige problemer
Visuell inspeksjon: Observer overflaten regelmessig med et 40x forstørrelsesglass. Hvis det oppdages kontinuerlige riper eller en betydelig reduksjon i glans, kan det tyde på en reduksjon i nøyaktigheten.
Lyddeteksjon: Bank forsiktig på plattformen. Hvis lyden blir hes (vanligvis skal det være en klar lyd), kan det være mikrosprekker inni. Slutt å bruke den umiddelbart for deteksjon.
Gjennom dette vedlikeholdssystemet kan ZHHIMG®-granittplattformen opprettholde en flathet på ±1 μm/m i 10 år, noe som er mer enn tre ganger lenger enn presisjonslevetiden til plattformer som ikke vedlikeholdes ordentlig. Praksis har vist at etter at en viss halvlederfabrikk tok i bruk denne løsningen, ble hyppigheten av plattformkalibrering redusert med 50 %, og de årlige vedlikeholdskostnadene ble spart med mer enn 150 000 yuan.
Publisert: 18. juni 2025