Deteksjonsmetoder for flathet av granittpresisjonsplattformer.

Innen presisjonsproduksjon og vitenskapelig forskning er flatheten til presisjonsplattformer av granitt en nøkkelindikator for å sikre nøyaktigheten til utstyr. Følgende er en detaljert introduksjon til flere vanlige deteksjonsmetoder og deres driftsprosedyrer.
I. Deteksjonsmetode for laserinterferometer
Laserinterferometeret er det foretrukne verktøyet for høypresisjons flathetsdeteksjon. Ta ZYGO GPI XP laserinterferometer som et eksempel, oppløsningen kan nå 0,1 nm. Når du utfører deteksjonen, juster først lyskilden til interferometeret med plattformen og del plattformoverflaten inn i 50 mm × 50 mm rutenettområder. Deretter ble interferensfransedataene samlet inn punkt for punkt, og dataene ble tilpasset og analysert ved hjelp av Zernike-polynomet for å finne flathetsfeilen. Denne metoden kan brukes på høypresisjonsplattformer og kan oppdage flathetsfeil på ≤0,5 μm/m². Den brukes ofte i deteksjon av fotolitografimaskiner og avanserte trekoordinatmålemaskiner.
Ii. Elektronisk nivåmatrisemetode
Den elektroniske nivåmatrisen er enkel å betjene og svært effektiv. Det elektroniske nivået TESA A2 (med en oppløsning på 0,01 μm/m) ble valgt og arrangert i en 9×9-matrise langs plattformens X/Y-akseretning. Ved å samle inn helningsdataene for hvert nivå synkront og deretter bruke minste kvadraters metode for beregning, kan flathetsverdien oppnås nøyaktig. Denne metoden kan effektivt identifisere de lokale konkavitets- og konveksitetsforholdene til plattformen. For eksempel kan en fluktuasjon på 0,2 μm innenfor et 50 mm-område også detekteres, noe som er egnet for rask deteksjon i masseproduksjon.
III. Optisk flatkrystallmetode
Den optiske flatkrystallmetoden er egnet for deteksjon av plattformer med lite areal. Fest den optiske flatkrystallen tett til overflaten som skal testes på plattformen, og observer interferensfransene som dannes mellom dem under belysning av en monokromatisk lyskilde (for eksempel en natriumlampe). Hvis stripene er parallelle, rette striper, indikerer det god flathet. Hvis det oppstår buede striper, beregnes flathetsfeilen basert på graden av stripekrumning. Hver buede stripe representerer en høydeforskjell på 0,316 μm, og flathetsdataene kan oppnås ved enkel konvertering.
Fire. Inspeksjonsmetode for trekoordinatmålemaskin
Trekoordinatmålemaskinen kan oppnå høypresisjonsmålinger i tredimensjonalt rom. Plasser granittplattformen på målemaskinens arbeidsbord og bruk sonden til å samle inn data jevnt fra flere målepunkter på plattformens overflate. Målemaskinens system behandler og analyserer disse dataene for å generere en flathetsrapport for plattformen. Denne metoden kan ikke bare oppdage flathet, men også innhente andre geometriske parametere for plattformen samtidig, og er egnet for omfattende deteksjon av store granittplattformer.
Å mestre disse deteksjonsmetodene kan hjelpe deg med å nøyaktig vurdere flatheten til granittpresisjonsplattformen og gi en pålitelig garanti for stabil drift av presisjonsutstyr.