Innenfor avansert produksjon og banebrytende vitenskapelig forskning har den ultrapresisjonsbevegelsesmodulen til luftflyteren blitt et nøkkelutstyr for finstyring og måling med sin utmerkede presisjonsytelse. Granittpresisjonsbasen, som støttekjerne, har strenge krav til arbeidsmiljøet, og passende miljøforhold er grunnlaget for å sikre stabil ytelse og best mulig effekt.
Først, temperaturkontroll: presisjons"stabilisator"
Selv om granitt er kjent for sin stabilitet, er den ikke helt immun mot temperaturendringer. Selv om dens termiske utvidelseskoeffisient er lav, vanligvis 5-7 × 10⁻⁶/℃, kan subtile temperatursvingninger i ultrapresisjonsbevegelseskontrollscenarier fortsatt forårsake dimensjonsendringer og påvirke modulens nøyaktighet. I halvlederbrikkeproduksjonsverkstedet krever litografiprosessen en posisjoneringsnøyaktighet på danami-nivå, og omgivelsestemperaturen svinger med 1 °C, og granittbasen med en sidelengde på 1 meter kan produsere en lineær utvidelse eller sammentrekning på 5-7 mikron. Denne lille endringen overføres av den ultrapresisjonsbevegelsesmodulen til luftflåten, noe som er nok til å avvike i brikkens litografimønster og redusere utbyttet betraktelig. Derfor, utstyrt med granittpresisjonsbase for den luftflytende ultra-presisjonsbevegelsesmodulen, bør den ideelle arbeidsmiljøtemperaturen kontrolleres ved 20 °C ±1 °C. Ved hjelp av høypresisjonsutstyr med konstant temperatur, for eksempel klimaanlegg med konstant temperatur og fuktighet, kontinuerlig overvåking og justering av omgivelsestemperaturen, bør den ideelle arbeidstemperaturen kontrolleres ved 20 °C ±1 °C. Dette sikrer at temperatursvingningene er svært små, at basestørrelsen opprettholdes og at modulen fungerer med høy presisjon.
For det andre, fuktighetsstyring: nøkkelen til fuktsikker beskyttelse av "stein"
Fuktighet er en annen viktig faktor som påvirker ytelsen til presisjonsgranittbase. I et miljø med høy luftfuktighet absorberer granitt lett vanndamp, noe som kan føre til kondens på overflaten, noe som ikke bare påvirker forbindelsesstabiliteten til granitten og den ultrapresisjonsbevegelsesmodulen til luftflåten, men også kan forårsake overflateerosjon og redusere glans og nøyaktighet på lang sikt. I optisk linseslipeverksted, hvis fuktigheten er høyere enn 60 % RF over lengre tid, vil vanndampen som absorberes på overflaten av granittbasen forstyrre bevegelsen til gassflåtens glidebryter, slik at linsens slipenøyaktighet reduseres og overflaten blir ujevn. Derfor bør den relative fuktigheten i arbeidsmiljøet kontrolleres strengt mellom 40 %–60 % RF, som kan overvåkes og justeres i sanntid ved å installere avfuktere, fuktighetssensorer og annet utstyr for å unngå skade på granittbasen på grunn av høy luftfuktighet, og sikre jevn drift av den ultrapresisjonsbevegelsesmodulen til luftflåten.
For det tredje, renhetsgaranti: «vokteren» av presisjon
Skaden støvpartikler kan utsette presisjonsgranittbasen til ultrapresisjonsbevegelsesmodulen for luftflotasjon for kan ikke undervurderes. Når de små partiklene kommer inn i gassfilmgapet mellom gassflyterens glidebryter og granittbasen, kan de ødelegge ensartetheten til gassfilmen, øke friksjonen og til og med ripe opp overflaten på basen, noe som resulterer i redusert bevegelsesnøyaktighet. I ultrapresisjonsmaskineringsverkstedet for luftfartsdeler, hvis støvpartikler i luften faller på granittbasen, kan bevegelsesbanen til maskineringsverktøyet avvike, noe som påvirker delenes maskineringsnøyaktighet. Derfor bør arbeidsområdet holdes svært rent, og nå 10 000 eller høyere nivåer av renhetsstandarder, ved å installere luftrensingsutstyr, for eksempel høyeffektive luftfiltre (HEPA), filtrere ut støvpartikler i luften, samtidig som personalet må bruke støvfrie klær, skotrekk osv., for å redusere støv fra mennesker. Oppretthold et høypresisjons driftsmiljø for granittbasen og ultrapresisjonsbevegelsesmodulen til luftflotatoren.
Fire, vibrasjonsisolering: jevn drift av "sjokkputen"
Ekstern vibrasjon er en fiende for presisjonen til ultrapresisjonsbevegelsesmodulen i luftflyteren. Selv om presisjonsgranittbasen har en viss vibrasjonsdempingsevne, kan høystyrkevibrasjonen fortsatt bryte buffergrensen. Vibrasjonene som genereres av trafikken rundt fabrikken og driften av stort mekanisk utstyr overføres til granittbasen gjennom bakken, noe som vil forstyrre bevegelsesnøyaktigheten til ultrapresisjonsbevegelsesmodulen i luftflyteren. I avanserte CMM-maskiner kan vibrasjon føre til at kontakten mellom målesonden og arbeidsstykket som skal måles blir ustabil, noe som resulterer i avvik i måledataene. For å løse dette problemet er det nødvendig å iverksette effektive vibrasjonsisolasjonstiltak, for eksempel å legge vibrasjonsisolasjonsputer i utstyrets installasjonsområde, bygge vibrasjonsisolasjonsfundament eller bruke et aktivt vibrasjonsisolasjonssystem for å aktivt motvirke ekstern vibrasjon, og skape et stille og stabilt arbeidsmiljø for granittpresisjonsbasen og luftflyterens ultrapresisjonsbevegelsesmodul.
Bare ved å fullt ut oppfylle miljøkravene til temperatur, fuktighet, renslighet og vibrasjonskontroll, kan granittpresisjonsbasen til den ultrapresisjonsbevegelsesmodulen til luftflyteren gi full utnyttelse av sine ytelsesfordeler, gi pålitelig garanti for ultrapresisjonsoperasjoner på ulike felt, og hjelpe industrien med å bevege seg mot et høyere presisjonsproduksjons- og vitenskapelig forskningsnivå.
Publisert: 08. april 2025