I halvlederproduksjonsverkstedet er kravene til brikkeproduksjonsprosessen for miljøforhold og utstyrets nøyaktighet ekstreme, og ethvert lite avvik kan føre til en betydelig nedgang i brikkeutbyttet. XYZT-presisjonsportalbevegelsesplattformen er avhengig av granittkomponenter for å samarbeide med andre deler av plattformen for å bygge et solid fundament for å oppnå nanoskala-nøyaktighet.
Utmerkede vibrasjonsblokkerende egenskaper
I halvlederproduksjonsverkstedet kan drift av periferiutstyr og personell som går rundt forårsake vibrasjoner. Den indre strukturen til granittkomponenter er tett og ensartet, med naturlige høye dempningsegenskaper, som en effektiv vibrasjons"barriere". Når den eksterne vibrasjonen overføres til XYZT-plattformen, kan granittkomponenten effektivt dempe mer enn 80 % av vibrasjonsenergien og redusere vibrasjonens forstyrrelser på plattformens bevegelsesnøyaktighet. Samtidig er plattformen utstyrt med et høypresisjons luftflyteføringssystem, som fungerer sammen med granittkomponentene. Luftflyteføringen bruker den stabile gassfilmen dannet av høytrykksgass for å realisere den kontaktløse fjæringsbevegelsen til plattformens bevegelige deler og redusere den lille vibrasjonen forårsaket av mekanisk friksjon. Sammen sikrer de to at plattformens posisjoneringsnøyaktighet alltid opprettholdes på nanometernivå i viktige prosesser som chiplitografi og etsing, og unngår avvik i chipkretsmønstre forårsaket av vibrasjon.
Utmerket termisk stabilitet
Temperatur- og fuktighetssvingninger i verkstedet har stor innflytelse på nøyaktigheten til utstyr for produksjon av brikke. Den termiske utvidelseskoeffisienten til granitt er svært lav, vanligvis 5-7 × 10⁻⁶/℃, og størrelsen forblir nesten uendret når temperaturen endres. Selv om temperaturforskjellen mellom dag og natt i verkstedet eller varmeproduksjonen fra utstyret forårsaker svingninger i omgivelsestemperaturen, kan granittkomponentene forbli stabile for å forhindre deformasjon av plattformen på grunn av termisk utvidelse og sammentrekning. Samtidig overvåker det intelligente temperaturkontrollsystemet som er utstyrt med plattformen omgivelsestemperaturen i sanntid, justerer automatisk klimaanlegget og varmeavledningsutstyret, og opprettholder verkstedtemperaturen på 20 °C ± 1 °C. Kombinert med fordelene med granittens varmestabilitet, sikrer det at plattformen under langvarig drift alltid oppfyller bevegelsesnøyaktigheten til hver akse for brikkeproduksjonens nanometerpresisjonsstandarder, for å sikre at størrelsen på brikkelitografimønsteret er nøyaktig og etsedybden er jevn.
Møt behovene til et rent miljø
Halvlederproduksjonsverkstedet må opprettholde en høy grad av renslighet for å forhindre at støvpartikler forurenser brikken. Granittmaterialet i seg selv produserer ikke støv, og overflaten er glatt og absorberer ikke lett støv. Plattformen som helhet bruker en helt lukket eller halvlukket strukturdesign for å redusere inntrengning av eksternt støv. Det interne luftsirkulasjonssystemet er koblet til verkstedets rene klimaanlegg for å sikre at den interne luftrenheten når det nivået som kreves for brikkeproduksjon. I dette rene miljøet vil ikke granittkomponenter påvirke ytelsen på grunn av støverosjon, og nøkkelkomponenter som høypresisjonssensorer og motorer på plattformen kan også operere stabilt, noe som gir kontinuerlig og pålitelig nanoskala-nøyaktighet for brikkeproduksjon, og hjelper halvlederindustrien med å bevege seg til et høyere prosessnivå.
Publiseringstid: 14. april 2025