I presisjonslaboratoriet for produksjon av brikker finnes det en tilsynelatende uanselig «helt bak kulissene» – granittmaskinbasen. Ikke undervurder denne steinen. Den er nøkkelen til å sikre nøyaktigheten av ikke-destruktiv testing av wafere! I dag skal vi se på hvordan den holder deteksjonsutstyret alltid «horisontalt og vertikalt».
1. Født med et «stabilt gen»
Granitt er ingen vanlig stein. Den indre strukturen er som et tett sammenlåst «mineralpuslespill». Kvarts, feltspat og andre krystaller er tett anordnet, med ekstremt høy tetthet og nesten ingen hulrom. Dette er akkurat som å bygge et hus med armert betong, som er både solid og stabilt. Når inspeksjonsutstyret «sitter» på den, selv om den veier flere tonn, er deformasjonen av granittbasen ubetydelig, bare en tidel av ståls!
Enda mer imponerende er at den nesten ikke er redd for temperaturendringer. Vanlige metallmaterialer har en tendens til å "utvide seg og legge på seg" når de varmes opp, og "samle seg og bli tynnere" når de avkjøles. Granitt ser imidlertid ut til å ha en "konstant temperaturmagi". Når temperaturen svinger med 1 ℃, er utvidelsen og sammentrekningen bare en tusendel av et menneskehårs. Det bør bemerkes at selv om det er en liten endring i temperaturen i testlaboratoriet, kan granittbasen støtte utstyret godt og forhindre at nivået "avviker".
For det andre, behandlingsteknikken for "djevelske detaljer"
For å gjøre granittbasen mer nøyaktig, brukte ingeniører «svart teknologi» til bearbeiding. Tenk deg å polere steiner med «superslipepapir» laget av diamanter – slik fungerer en femakset slipemaskin. Den vil slipe overflaten av granitten til å bli flatere enn et speil i tre trinn:
Grovsliping: Fjern først overflatefeilene på steinen og kontroller flatheten til en tjuendedel av et menneskehårstrå.
Halvfin sliping: Ytterligere raffinering, med flatheten økt til en femtiendedel av et menneskehårstrå.
Finsliping: Til slutt poleres den med ultrafint slipepulver, noe som oppnår en flathet på en tusendel av et menneskehårstrå! På dette tidspunktet er overflaten på granittbasen som et "horisontalt plattform" skreddersydd for inspeksjonsutstyret.
Noen avanserte fester har også en «smart hjerne» – det innebygde høypresisjonsvateret er som en «liten vakt» på vakt 24 timer i døgnet. Når den oppdager at utstyret er vippet med 0,01 grader (en vinkel mindre enn en pennespiss), vil den hydrauliske enheten umiddelbart aktiveres og «rette opp» utstyret innen 30 sekunder.
For det tredje forbedrer genialt design stabiliteten ytterligere
Ingeniørene har også jobbet seg gjennom strukturen til maskinbasen. Bunnen er laget i en sekskantet bikubeform, akkurat som en bikube, noe som ikke bare reduserer vekten, men også fordeler trykket jevnt. Når deteksjonssonden beveger seg på waferen, er deformasjonen på hvert punkt på basen nesten nøyaktig den samme, noe som sikrer at den horisontale referansen forblir stabil hele tiden.
Enda mer forbløffende er det at en «usynlig støtdemper» – en piezoelektrisk keramisk støtdemper – er installert mellom basen og bakken. Den kan fange opp forskjellige vibrasjoner fra 1 til 1000 Hz som en radar og umiddelbart sende ut reversbølger for å «motvirke» interferensen. For eksempel er vibrasjonene som genereres av driften av maskinene ved siden av eller rykkene fra kjøretøy som kjører forbi utenfor, alle «ubrukelige» foran den.
Dataene taler for seg selv: Hvor kraftig er effekten?
I praktiske anvendelser er granittbasens ytelse virkelig forbløffende:
Optisk inspeksjon: Nøyaktigheten ved å identifisere overflatedefekter på wafere er forbedret fra 3 mikron til 1 mikron (1 mikron = en sekstidel av et menneskehårstrå).
Ultralydtesting: Feilen i måling av wafertykkelse er redusert med tre fjerdedeler.
Langvarig bruk: Etter kontinuerlig drift i et år er endringen i vannretthet nesten ubetydelig, mens vanlige maskinbaser for lengst har blitt "foroverbøyd".
Fra fordelene med naturlige materialer til presis bearbeiding og innovativ design, har granittbasen bevist med sin "styrke" at hvis du vil oppdage flis nøyaktig, er denne steinen virkelig uunnværlig!
Publisert: 18. juni 2025