I den presise verdenen av halvlederproduksjon er ikke-destruktiv testing av wafere en nøkkelfaktor for å sikre kvaliteten på brikker. Den tilsynelatende ubetydelige granittbasen er faktisk den "usungne helten" som bestemmer deteksjonsnøyaktigheten. Hvordan i all verden påvirker det testresultatene? Denne artikkelen vil gjennomføre en grundig analyse fra dimensjoner som materialegenskaper og strukturell design.
1. Stabilt fundament: Granittens naturlige fordeler legger et solid grunnlag for presisjon
1. Utmerket seismisk ytelse
Under drift av ikke-destruktiv testutstyr for wafere vil rotasjonen av motoren og bevegelsen av mekaniske komponenter generere vibrasjoner. Hvis disse vibrasjonene ikke dempes effektivt, vil de påvirke testnøyaktigheten alvorlig. Granittens indre er tett sammenvevd med mineralkrystaller som kvarts og feltspat. Den unike strukturen gir den en naturlig vibrasjonsabsorpsjonskapasitet, som er i stand til å absorbere over 90 % av vibrasjonsenergien til utstyret. Faktiske måledata fra en bestemt halvlederprodusent viser at etter bruk av granittbasen har vibrasjonsamplituden til deteksjonsutstyret blitt redusert fra 12 μm til 2 μm, noe som effektivt unngår avvik i deteksjonssignalet forårsaket av vibrasjon.
2. Ekstremt lav termisk utvidelseskoeffisient
Under deteksjonsprosessen vil faktorer som oppvarming av utstyr og endringer i omgivelsestemperatur påvirke stabiliteten til maskinbasen. Vanlige materialer utvider seg betydelig ved oppvarming, men den termiske utvidelseskoeffisienten til granitt er bare 1/5 av den for stål. Selv om omgivelsestemperaturen svinger med 10 ℃, kan deformasjonen ignoreres. Dette gjør at granittbasen kan gi en stabil referanseplattform for inspeksjonsutstyret, noe som sikrer at den relative posisjonen mellom inspeksjonssonden og waferen forblir nøyaktig til enhver tid og unngår inspeksjonsfeil forårsaket av termisk deformasjon.
For det andre, presis design: Strukturell optimalisering forbedrer påliteligheten til deteksjon ytterligere
Høypresisjonsbehandling og garanti for flathet
Granittbasen av høy kvalitet er bearbeidet med avansert femakset CNC-teknologi, med en flathet på ±0,5 μm/m, noe som gir en ultraflatt installasjonsreferanse for inspeksjonsutstyr. Ved waferinspeksjon er vertikaliteten og nivået til inspeksjonssonden avgjørende for inspeksjonsresultatene. En granittbase med høy presisjon kan sikre presis plassering av sonden, noe som gjør inspeksjonsdataene mer nøyaktige og pålitelige.
2. Tilpasset strukturell tilpasning
Granittmaskinbaser kan tilpasses for ulikt utstyr og prosesskrav for ikke-destruktiv testing av wafere. For eksempel, for å oppfylle kravene til optisk inspeksjonsutstyr for lysrefleksjon, kan overflaten på maskinbasen spesialbehandles. For å oppfylle installasjonskravene til ultralydtestutstyr kan basen prefabrikeres med presise installasjonshull og kabelbrett, noe som muliggjør rask og nøyaktig installasjon av utstyret og reduserer deteksjonsavvik forårsaket av installasjonsfeil.
III. Langsiktig stabilitet: Reduser presisjonstap forårsaket av vedlikehold av utstyr
Granitt har høy hardhet og sterk slitestyrke, med en Mohs-hardhet på 6 til 7, som er tre ganger slitestyrken til vanlig stål. Under langvarige inspeksjonsoperasjoner er overflaten på maskinbasen ikke utsatt for slitasje og kan alltid opprettholde en god presisjonstilstand. I motsetning til dette kan baser laget av andre materialer forårsake endringer i installasjonsreferansen til utstyret på grunn av slitasje, og dermed påvirke deteksjonsnøyaktigheten og kreve hyppig kalibrering og vedlikehold. Den lange levetiden og høye stabiliteten til granittbasen reduserer effektivt hyppigheten av utstyrsvedlikehold og reduserer risikoen for presisjonstap som kan oppstå under vedlikeholdsprosessen.
Fra støtmotstand og varmemotstand til presis design, sikrer alle funksjoner ved granittbasen nøyaktigheten av ikke-destruktiv testing av wafere. I dagens æra av halvlederproduksjon som streber etter ultimat presisjon, er det å velge en granittbase av høy kvalitet som å legge til et solid lag med forsikring til nøyaktigheten og påliteligheten til testresultatene.
Publisert: 18. juni 2025