Innen halvlederproduksjon er presisjon på submikronnivå nøkkelen til å sikre brikkens ytelse, og (ZHHIMG®)-granittbasen, med sine materialegenskaper, presise prosessering og innovative design, har blitt kjernegarantien for å oppnå denne presisjonen.
Fra et materialperspektiv har den svarte granitten som er valgt av ZHHIMG® en tetthet på omtrent 3100 kg/m³, med en tett indre struktur. Denne høye tettheten gir den enestående stabilitet og stivhet. Under drift av halvlederutstyr vil rotasjonen av motorer og bevegelsen av mekaniske komponenter inne i utstyret generere vibrasjoner. Granittbasen kan effektivt absorbere over 90 % av vibrasjonsenergien, noe som reduserer vibrasjonens påvirkning på utstyrets nøyaktighet betydelig. Samtidig gjør den ekstremt lave termiske utvidelseskoeffisienten det mulig å holde deformasjonen innenfor et svært lite område når omgivelsestemperaturen svinger, noe som gir et stabilt støttefundament for halvlederutstyr og forhindrer forskyvning av utstyrskomponenter på grunn av temperaturendringer, noe som kan påvirke nøyaktigheten.
Når det gjelder prosessering og produksjon, bruker ZHHIMG®-fabrikken internasjonalt avansert prosesseringsutstyr og har fire superstore slipemaskiner (hver maskin koster over 500 000 USD), som kan utføre høypresisjonssliping på granitt. Gjennom femakset CNC-maskinering og andre prosesser kan maskinbasens flathet nå nanometernivå, noe som gir en ultraflat referanseflate for installasjon av halvlederutstyr og sikrer presis plassering av hver komponent i utstyret. Dessuten gir verkstedet med konstant temperatur og fuktighet (som dekker et område på 10 000 kvadratmeter) et stabilt miljø for prosesseringen. De 500 mm brede og 2000 mm dype antivibrasjonsgrøftene rundt det, samt de stille kranene, isolerer effektivt ekstern vibrasjonsforstyrrelse og sikrer prosesseringsnøyaktigheten til maskinbasen.
I tillegg har ZHHIMG® også en sterk tilpasningsmulighet. For de spesielle kravene til halvlederutstyr kan presise installasjonshull og kabelrenner prefabrikeres for å oppnå perfekt kompatibilitet mellom utstyret og basen. Samtidig, i kombinasjon med metrologi- og testutstyr i verdensklasse som den tyske Mahr-minuttmåleren (med en nøyaktighet på 0,5 µm) og det sveitsiske elektroniske WYLER-vateret, blir maskinbasen strengt inspisert og kalibrert for å sikre at hver maskinbase kan oppfylle de strenge kravene til halvlederutstyr for nøyaktighet på submikronnivå.
Det er nettopp kombinasjonen av disse fordelene som gjør ZHHIMG®-granittbasen til et pålitelig valg for å oppnå presisjon på submikronnivå i halvlederutstyr, noe som hjelper halvlederproduksjonen med å bevege seg mot felt med høyere presisjon.
Publisert: 18. juni 2025