Maskinbaser i granitt er mye brukt i produkter for waferbehandlingsutstyr på grunn av deres overlegne egenskaper som høy stivhet, stabilitet og presisjon.Å montere, teste og kalibrere en granittmaskinbase er en kritisk prosess som krever den største oppmerksomheten på detaljer, presisjon og nøyaktighet.I denne artikkelen vil vi diskutere trinn-for-trinn-prosessen med å montere, teste og kalibrere en granittmaskinbase for produkter for waferbehandlingsutstyr.
Montering
Det første trinnet er å forberede granittoverflateplaten, basen og søylen for montering.Sørg for at alle overflater er rene, tørre og fri for rusk, støv eller olje.Sett nivelleringsboltene inn i basen og plasser overflateplaten oppå den.Juster utjevningsboltene slik at overflateplaten er vannrett og jevn.Pass på at overflateplaten er i flukt med sokkelen og søylen.
Installer deretter kolonnen på basen og fest den med bolter.Bruk en momentnøkkel for å stramme boltene til produsentens anbefalte momentverdi.Kontroller nivået på søylen og juster nivelleringsboltene om nødvendig.
Til slutt installerer du spindelenheten på toppen av søylen.Bruk en momentnøkkel for å stramme boltene til produsentens anbefalte momentverdi.Kontroller nivået på spindelenheten og juster utjevningsboltene om nødvendig.
Testing
Etter å ha satt sammen maskinbasen, er neste trinn å teste funksjonaliteten og nøyaktigheten.Koble til strømforsyningen og slå på maskinen.Sørg for at alle komponentene som motorer, gir, remmer og lagre fungerer som de skal og uten unormale eller uvanlige lyder.
For å teste nøyaktigheten til maskinen, bruk en presisjonsindikator for å måle utløpet til spindelen.Still inn viseren på overflateplaten, og roter spindelen.Maksimalt tillatt utløp bør være mindre enn 0,002 mm.Hvis utløpet er større enn den tillatte grensen, juster nivelleringsboltene og kontroller på nytt.
Kalibrering
Kalibrering er det kritiske trinnet for å sikre nøyaktigheten og presisjonen til maskinbasen.Kalibreringsprosessen innebærer testing og justering av maskinens parametere, som hastighet, posisjonering og nøyaktighet, for å sikre at maskinen oppfyller produsentens spesifikasjoner.
For å kalibrere maskinen trenger du et kalibreringsverktøy, som inkluderer et laserinterferometer, en lasertracker eller en ballbar.Disse verktøyene måler maskinens bevegelse, posisjon og innretting med høy nøyaktighet.
Start med å måle maskinens lineære og vinkelakse.Bruk kalibreringsverktøyet til å måle maskinens bevegelse og posisjon over en spesifisert avstand eller vinkel.Sammenlign de målte verdiene med produsentens spesifikasjoner.Hvis det er noen avvik, juster maskinens parametere, slik som motorer, gir og drivverk, for å bringe de målte verdiene innenfor de tillatte grensene.
Deretter tester du maskinens sirkulære interpolasjonsfunksjon.Bruk kalibreringsverktøyet til å lage en sirkulær bane og måle maskinens bevegelse og posisjon.Igjen, sammenlign de målte verdiene med produsentens spesifikasjoner og juster parametrene om nødvendig.
Til slutt, test maskinens repeterbarhet.Mål posisjonen til maskinen på forskjellige punkter over en spesifisert periode.Sammenlign de målte verdiene og se etter eventuelle avvik.Hvis det er noen avvik, juster maskinens parametere og gjenta testen.
Konklusjon
Å montere, teste og kalibrere en granittmaskinbase for produkter for waferbehandlingsutstyr er en kritisk prosess som krever tålmodighet, oppmerksomhet på detaljer og presisjon.Ved å følge disse trinnene kan du sikre at maskinen oppfyller produsentens spesifikasjoner og funksjoner med nøyaktighet, stabilitet og presisjon.
Innleggstid: 28. desember 2023