Granittmaskinbaser brukes mye i waferbehandlingsutstyr på grunn av deres overlegne egenskaper som høy stivhet, stabilitet og presisjon. Montering, testing og kalibrering av en granittmaskinbase er en kritisk prosess som krever største oppmerksomhet på detaljer, presisjon og nøyaktighet. I denne artikkelen vil vi diskutere den trinnvise prosessen med å montere, teste og kalibrere en granittmaskinbase for waferbehandlingsutstyr.
Montering
Det første trinnet er å forberede granittoverflateplaten, sokkelen og søylen for montering. Sørg for at alle overflater er rene, tørre og fri for rusk, støv eller olje. Sett nivelleringspinnene inn i sokkelen og plasser overflateplaten oppå den. Juster nivelleringspinnene slik at overflateplaten er horisontal og i vater. Sørg for at overflateplaten er i flukt med sokkelen og søylen.
Deretter monterer du søylen på basen og fester den med bolter. Bruk en momentnøkkel til å stramme boltene til produsentens anbefalte momentverdi. Kontroller søylens vater og juster nivelleringsboltene om nødvendig.
Til slutt monterer du spindelenheten på toppen av søylen. Bruk en momentnøkkel til å stramme boltene til produsentens anbefalte momentverdi. Kontroller spindelenhetens vater og juster nivelleringsboltene om nødvendig.
Testing
Etter at maskinbasen er montert, er neste trinn å teste funksjonaliteten og nøyaktigheten. Koble til strømforsyningen og slå på maskinen. Forsikre deg om at alle komponenter som motorer, gir, remmer og lagre fungerer som de skal og uten unormaliteter eller uvanlige lyder.
For å teste maskinens nøyaktighet, bruk en presisjonsmåler for å måle spindelens kast. Plasser målerøret på overflateplaten og roter spindelen. Maksimal tillatt kast skal være mindre enn 0,002 mm. Hvis kast er større enn den tillatte grensen, juster nivelleringsboltene og sjekk på nytt.
Kalibrering
Kalibrering er det kritiske trinnet for å sikre nøyaktigheten og presisjonen til maskinbasen. Kalibreringsprosessen innebærer testing og justering av maskinens parametere, som hastighet, posisjonering og nøyaktighet, for å sikre at maskinen oppfyller produsentens spesifikasjoner.
For å kalibrere maskinen trenger du et kalibreringsverktøy, som inkluderer et laserinterferometer, en lasertracker eller en ballstang. Disse verktøyene måler maskinens bevegelse, posisjon og justering med høy nøyaktighet.
Start med å måle maskinens lineære og vinkelakser. Bruk kalibreringsverktøyet til å måle maskinens bevegelse og posisjon over en spesifisert avstand eller vinkel. Sammenlign de målte verdiene med produsentens spesifikasjoner. Hvis det er avvik, juster maskinens parametere, som motorer, gir og drivverk, for å bringe de målte verdiene innenfor de tillatte grensene.
Deretter testes maskinens sirkulære interpolasjonsfunksjon. Bruk kalibreringsverktøyet til å lage en sirkulær bane og måle maskinens bevegelse og posisjon. Sammenlign igjen de målte verdiene med produsentens spesifikasjoner og juster parametrene om nødvendig.
Til slutt, test maskinens repeterbarhet. Mål maskinens posisjon på forskjellige punkter over en spesifisert periode. Sammenlign de målte verdiene og sjekk for eventuelle avvik. Hvis det er noen avvik, juster maskinens parametere og gjenta testen.
Konklusjon
Montering, testing og kalibrering av en granittmaskinbase for waferbehandlingsutstyr er en kritisk prosess som krever tålmodighet, detaljfokus og presisjon. Ved å følge disse trinnene kan du sikre at maskinen oppfyller produsentens spesifikasjoner og funksjoner med nøyaktighet, stabilitet og presisjon.
Publisert: 28. desember 2023