I produksjonsutstyr for halvledere og optoelektronikk brukes granitt hovedsakelig i viktige deler som presisjonsbevegelsesplattformer, føringsskinnebaser, vibrasjonsisolerende støttestrukturer og installasjonssubstrater for optiske komponenter. Disse delene har ekstremt høye krav til presisjon, stabilitet og miljøtoleranse. Egenskapene til granitt kan presist oppfylle de strenge kravene fra halvleder- og optoelektronikkindustrien. Følgende er en analyse av spesifikke bruksscenarier og fordeler:
I. Hoveddeler av bruksområdet
Presisjonsbevegelsesplattformer (som waferplattformer for fotolitografimaskiner og bindingsmaskiner)
Den brukes til å bære presisjonskomponenter som wafere og optiske linser, og oppnår translasjons- og rotasjonsbevegelser med nanoskala-nøyaktighet.
Typisk utstyr: arbeidsstykkebord for fotolitografimaskin, posisjoneringsplattform for måleutstyr.
Skinnebase og rammestruktur
Som installasjonsbase for lineære føringer og luftflotasjonsføringer, støtter den utstyrets kjernebevegelsesmekanisme.
Typisk utstyr: mekaniske rammer for halvlederpakkeutstyr og optiske inspeksjonsinstrumenter.
Vibrasjonsisolerende støtte og stabiliserende struktur
Den brukes til å isolere eksterne vibrasjoner (som vibrasjoner fra fabrikkgulvet eller under drift av utstyr), og sikrer stabiliteten til optiske systemer eller presisjonsmaskineri.
Typiske scenarier: Basisstøtte for optiske mikroskoper og laserinterferometre.
Monteringssubstrat for optisk komponent
Fest optiske enheter som speil, prismer og lasere for å sikre langsiktig stabilitet til justeringsnøyaktigheten til det optiske banesystemet.
Typisk utstyr: Optoelektronisk pakkeutstyr, koblingssystemer for optiske fibre.
Publiseringstid: 29. mai 2025