Granittlag er svært foretrukket i produksjon av halvlederutstyr på grunn av deres utmerkede egenskaper som høy dimensjonsstabilitet, høy stivhet, lav termisk ekspansjon, gode dempningsegenskaper og høy motstand mot slitasje og abrasjon. De er mye brukt i flere kritiske komponenter i produksjonsindustrien for halvlederutstyr, for eksempel waferinspeksjonssystemer, wafermålesystemer, waferhåndteringssystemer og mer.
Waferinspeksjonssystemer
Waferinspeksjonssystemer bruker granittlag for å gi en stabil og flat overflate for inspeksjon av halvlederwafere. Granittlagene brukes som plattform som holder waferen under inspeksjon. Granittlagens flathet og stivhet sikrer nøyaktig inspeksjon samtidig som det minimerer skade eller forurensning av waferen. Granittlagene bidrar også til å redusere effekten av miljøvibrasjoner og andre eksterne faktorer.
Wafer-målingssystemer
I wafermålingssystemer er presisjon avgjørende. Granittlag er mye brukt til dette formålet på grunn av deres utmerkede dimensjonsstabilitet. De gir et stivt grunnlag for presis måling av wafertykkelse, form og overflateegenskaper. Granittlagene er også motstandsdyktige mot slitasje og gnaging, noe som gjør dem ideelle for kontinuerlig bruk over en lengre periode.
Waferhåndteringssystemer
Granittlag brukes også i waferhåndteringssystemer. I disse systemene brukes granittlagene som en presis veiledning for å plassere waferen under håndteringsprosessen. Granittlagens høye stivhet og flathet sikrer nøyaktig og repeterbar plassering av waferen, noe som reduserer risikoen for skade.
Andre komponenter
Bortsett fra de ovennevnte komponentene, brukes granittlag også i andre kritiske deler av produksjon av halvlederutstyr, som scenebaser, støttestrukturer og andre høypresisjonsdeler. Granittlagenes høye dimensjonsstabilitet bidrar til å redusere feil forårsaket av deformasjon av deler, termiske endringer og vibrasjoner.
Konklusjon
Avslutningsvis er granittlag en kritisk komponent i produksjon av halvlederutstyr, ettersom de tilbyr høy dimensjonsstabilitet, lav termisk ekspansjon og utmerket motstand mot slitasje og abrasjon. De er avgjørende for nøyaktig, repeterbar og pålitelig ytelse i waferinspeksjonssystemer, wafermålesystemer, waferhåndteringssystemer og annet høypresisjonsutstyr. Bruken av granittlag sikrer at produsenter av halvlederutstyr kan produsere produkter av høy kvalitet som oppfyller de strenge standardene som kreves av den moderne halvlederindustrien.
Publisert: 03.04.2024