Granittmaterialer er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres utmerkede egenskaper, som høy stabilitet, lav termisk ekspansjon og høy motstand mot korrosjon.Disse egenskapene gjør granitt til et ideelt materiale for å bygge høypresisjonskomponenter i et wafer-overføringssystem.
I halvlederproduksjonsprosessen spiller waferoverføringssystemet en kritisk rolle i transport av wafere på tvers av ulike stadier av produksjonsprosessen.Presisjon og nøyaktighet er de grunnleggende kravene for disse systemene, da selv små avvik kan sette hele prosessen i fare.Derfor må komponenter i waferoverføringssystemet være laget av materialer av høy kvalitet, og granitt oppfyller disse kriteriene.
Noen deler av waferoverføringssystemet som er laget av granittmaterialer inkluderer:
1. Vakuumchuckbord
Vakuumchuckbordet brukes til å holde waferen under prosessen, og det må ha en stabil overflate for å sikre at waferen ikke blir skadet.Granitt er et ideelt materiale for å lage dette bordet fordi det har en flat, ikke-porøs overflate som gir høy stabilitet og presisjon.I tillegg har granitt en lav termisk ekspansjonskoeffisient, noe som gjør den motstandsdyktig mot temperaturendringer som kan forårsake dimensjonsendringer i waferen.
2. Luftbærende trinn
Det luftbærende trinnet brukes til å transportere waferen gjennom forskjellige stadier av produksjonsprosessen.Scenen er konstruert for å gi en friksjonsfri bevegelse, som krever høy presisjon og stabilitet.Granitt brukes i denne applikasjonen fordi det er en stiv og hard stein, og den motstår deformasjon og slitasje over tid.
3. Lineære bevegelsesguider
De lineære bevegelsesføringene brukes til å lede det luftbærende trinnet, og de må plasseres nøyaktig for å minimere feil.Granitt brukes til å bygge denne guiden fordi den har utmerket mekanisk stabilitet og styrke.Materialet er også korrosjonsbestandig, noe som sikrer lang levetid på føringssystemet.
4. Metrologiutstyr
Metrologiutstyr brukes til å måle dimensjonene og egenskapene til waferen under produksjonsprosessen.Granitt er et ideelt materiale for å bygge dette utstyret fordi det har høy stivhet, lav ekspansjon og minimal deformasjon under belastning.Granittens termiske stabilitet sørger dessuten for at måleutstyret forblir stabilt og nøyaktig over tid.
Som konklusjon er halvlederindustrien avhengig av presisjon og nøyaktighet, og granittmaterialer har vist seg å være svært pålitelige og stabile i produksjonsprosessen.Med mange kritiske komponenter i waferoverføringssystemet som krever høy stabilitet, presisjon og lav termisk ekspansjon, har ingeniører vendt seg til granittmaterialer for å møte disse kritiske kravene.
Innleggstid: 19. mars 2024