Granittmaterialer er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres utmerkede egenskaper, for eksempel høy stabilitet, lav termisk ekspansjon og høy motstand mot korrosjon. Disse egenskapene gjør granitt til et ideelt materiale for å bygge høye presisjonskomponenter i et skiveoverføringssystem.
I produksjonsprosessen for halvleder spiller Wafer Transfer -systemet en kritisk rolle i å transportere skiver over forskjellige stadier av produksjonsprosessen. Presisjon og nøyaktighet er de essensielle kravene til disse systemene, da til og med små avvik kan sette hele prosessen i fare. Derfor må komponenter i skiveoverføringssystemet være laget av materialer av høy kvalitet, og granitt oppfyller disse kriteriene.
Noen deler av skiveoverføringssystemet som er laget av granittmaterialer inkluderer:
1. Vakuum chuckbord
Vakuum chuck -bordet brukes til å holde skiven under prosessen, og det må ha en stabil overflate for å sikre at skiven ikke blir skadet. Granitt er et ideelt materiale for å lage dette bordet fordi det har en flat, ikke-porøs overflate som gir høy stabilitet og presisjon. I tillegg har granitt en lav termisk ekspansjonskoeffisient, noe som gjør den motstandsdyktig mot temperaturendringer som kan forårsake dimensjonale endringer i skiven.
2. Luftbærende scene
Det luftbærende stadiet brukes til å transportere skiven gjennom forskjellige stadier av produksjonsprosessen. Scenen er konstruert for å gi en friksjonsfri bevegelse, som krever høy presisjon og stabilitet. Granitt brukes i denne applikasjonen fordi det er en stiv og hard stein, og den motstår deformasjon og slitasje over tid.
3. Lineære bevegelsesguider
De lineære bevegelsesguidene brukes til å veilede det luftbærende stadiet, og de må være nøyaktig plassert for å minimere feil. Granitt brukes til å bygge denne guiden fordi den har utmerket mekanisk stabilitet og styrke. Materialet er også korrosjonsbestandig, som sikrer levetid for guidesystemet.
4. Metrologiutstyr
Metrologiutstyr brukes til å måle dimensjonene og egenskapene til skiven under produksjonsprosessen. Granitt er et ideelt materiale for å bygge dette utstyret fordi det har høy stivhet, lav ekspansjon og minimal deformasjon under belastning. Dessuten sikrer Granites termiske stabilitet at metrologiutstyret forblir stabilt og nøyaktig over tid.
Avslutningsvis er halvlederindustrien avhengig av presisjon og nøyaktighet, og granittmaterialer har vist seg å være svært pålitelige og stabile i produksjonsprosessen. Med mange kritiske komponenter i skiveoverføringssystemet som krever høy stabilitet, presisjon og lav termisk ekspansjon, har ingeniører vendt seg til granittmaterialer for å oppfylle disse kritiske kravene.
Post Time: Mar-19-2024