Granittbed er en viktig komponent i forskjellige halvlederenheter. Som et svært stabilt og stivt materiale blir granitt mye brukt som base for halvlederbehandlingsutstyr. Det er preget av dens lave termiske ekspansjonskoeffisient, høydimensjonal stabilitet og utmerkede mekaniske egenskaper. På grunn av disse egenskapene brukes granittbed oftest i tre forskjellige typer halvlederenheter - metrologiutstyr, litografiutstyr og inspeksjonsutstyr.
Metrologiutstyr brukes til å måle og oppdage de kritiske dimensjonene til halvlederenhetene. Det spiller en avgjørende rolle i å opprettholde kvaliteten og konsistensen av halvlederproduksjonsprosessen. Metrologiutstyr inkluderer instrumenter som optiske mikroskop, elektronmikroskop og atomkraftmikroskop (AFM). Siden ytelsen til disse måleinstrumentene avhenger av deres stabilitet, presisjon og vibrasjonsmotstand, er granitt det ideelle valget for sengematerialet deres. Ensartetheten og stabiliteten til granittbedet gir en stabil plattform for instrumentene, noe som forbedrer deres nøyaktighet og pålitelighet.
Litografiutstyr brukes til å lage mikrochip -mønstrene på skiven. Litografiprosessen krever et høyt nivå av presisjon og nøyaktighet for å skape komplekse kretsløp og forbedre ChIP -ytelsen. Litografiutstyret inkluderer trinn og skannersystemer som bruker lys for å overføre bilder til skiven. Siden litografiprosessen er svært følsom for vibrasjoner og termiske forandringer, er en seng av høy kvalitet viktig for å sikre stabiliteten og repeterbarheten til litografiprosessen. Granittbed gir den nødvendige stabiliteten og strenge vibrasjonsdempende ytelsen for litografisystemer. Granittbedet lar trinn- eller skannersystemet opprettholde presise romlige forhold som sikrer høy nøyaktighet og sluttproduktkvalitet.
Inspeksjonsutstyr brukes til å oppdage eventuelle feil i halvlederenhetene. Inspeksjonsutstyr inkluderer systemer som laserskanningsmikroskop, elektronmikroskop og optiske mikroskop. Med behovet for at disse enhetene skal være svært nøyaktige, stabile og vibrasjonsresistente, er granittbed det perfekte materialet. Granites mekaniske egenskaper og dimensjonsstabilitet hjelper til med vibrasjonsisolasjon, noe som forbedrer nøyaktigheten av utgangen til inspeksjonsutstyret.
Avslutningsvis er granittbed avgjørende for halvlederindustrien og brukes mye i forskjellige typer utstyr. Dens unike egenskaper som dimensjonsstabilitet, lav termisk ekspansjonskoeffisient og utmerket mekanisk stabilitet gjør granitt til det ideelle valget for sengematerialet til halvlederutstyr. Ettersom granittbedet av høy kvalitet gir nødvendig stabilitet, presisjon og vibrasjonsmotstand mot halvlederutstyr, forbedrer det til slutt kvaliteten på sluttproduktet. Derfor er bruken av granittbed i halvlederutstyr garantert i årene som kommer.
Post Time: Apr-03-2024