I den presise kjeden av halvlederproduksjon er waferoverføringssystemet som "livslinjen til chipproduksjonslinjen", og dets stabilitet og nøyaktighet bestemmer direkte utbyttet til chipene. Den nye generasjonen waferoverføringssystemer kombinerer revolusjonerende lineære motorer med granittbaser, og de unike fordelene med granittmaterialer er nettopp kjernekoden for å låse opp høyytelsesoverføring.
Granittbase: Bygge et "bunnsolid fundament" for stabil overføring
Granitt, som har gjennomgått hundrevis av millioner år med geologisk raffinering, har tett og jevn indre mineralkrystallisering. Denne naturlige egenskapen gjør den til et ideelt basismateriale for waferoverføringssystemer. I det komplekse miljøet i halvleder-renrom kan granitt, med sin ultralave termiske utvidelseskoeffisient (bare 5-7 × 10⁻⁶/℃), motstå varmen som genereres under utstyrets drift og påvirkningen av endringer i miljøtemperaturen, noe som sikrer stabiliteten til basestørrelsen og unngår avvik i overføringsbanen forårsaket av termisk deformasjon. Den enestående vibrasjonsdempende ytelsen kan raskt absorbere de mekaniske vibrasjonene som genereres under oppstart, nedstengning og akselerasjon av lineære motorer, samt de eksterne forstyrrelsene som forårsakes av driften av annet utstyr i verkstedet, noe som gir en stabil plattform med "null risting" for waferoverføring.
Samtidig sikrer granittens kjemiske stabilitet at den ikke korroderer eller ruster i halvlederverksteder der syre- og alkalireagenser er flyktige og høy renhet er nødvendig, og dermed unngås påvirkning på overføringsnøyaktigheten på grunn av materialaldring eller adsorpsjon av forurensende stoffer. De glatte og tette overflateegenskapene kan redusere støvadhesjon mer effektivt, oppfylle de strenge støvfrie standardene for renrom og eliminere risikoen for waferforurensning fra roten.
Den "gyldne partnerskapseffekten" av lineære motorer og granitt
Lineære motorer, med sine egenskaper uten mekanisk transmisjonsklaring, høy akselerasjon og høy responshastighet, gir wafertransmisjon fordelene med "rask, nøyaktig og stabil". Granittbasen gir en solid og pålitelig støtteplattform for den. De to jobber sammen for å oppnå et ytelsessprang. Når den lineære motoren driver waferbæreren til å kjøre på granittbasesporet, sikrer den sterke stivheten og stabiliteten til basen effektiv overføring av motorens drivkraft, og unngår krafttap eller forsinkelse i transmisjonen forårsaket av basedeformasjon.
Drevet av kravet om presisjon på nanoskala, kan lineære motorer oppnå forskyvningskontroll på submikronnivå. De høypresisjonsprosesseringsegenskapene til granittbaser (med flathetsfeil kontrollert innenfor ±1 μm) samsvarer perfekt med den presise kontrollen til lineære motorer, og sikrer dermed at posisjoneringsfeilen under waferoverføring er mindre enn ±5 μm. Enten det er høyhastighets skifting mellom ulike prosessutstyr eller presis parkering for waferoverføring, kan kombinasjonen av lineære motorer og granittbaser sikre "null avvik og null jitter" i waferoverføring.
Verifisering av bransjepraksis: Dobbel forbedring i effektivitet og avkastningsgrad
Etter å ha oppgradert waferoverføringssystemet sitt, tok et ledende globalt halvlederselskap i bruk en lineær motor + granittbase-løsning, noe som økte waferoverføringseffektiviteten med 40 %, reduserte forekomsten av feil som kollisjon og forskyvning under overføringsprosessen med 85 %, og forbedret den totale utbyttet av brikker med 6 %. Bak dataene ligger garantien for overføringsstabilitet gitt av granittbasen og den høyhastighets og presise synergieffekten til den lineære motoren, noe som reduserer tap og feil betydelig i waferoverføringsprosessen.
Fra materialegenskaper til presisjonsproduksjon, fra ytelsesfordeler til praktisk verifisering, har kombinasjonen av lineære motorer og granittbaser omdefinert standardene for waferoverføringssystemer. I fremtiden, når halvlederteknologien utvikler seg mot 3nm- og 2nm-prosesser, vil granittmaterialer garantert fortsette å gi sterk drivkraft til industriens utvikling med sine uerstattelige fordeler.
Publiseringstid: 14. mai 2025