Selv om en granittplattform kan virke som en enkel steinplate, endres utvalgskriteriene drastisk når man går fra vanlige industrielle applikasjoner til optisk inspeksjon og metrologi med høy innsats. For ZHHIMG® betyr det å levere presisjonskomponenter til verdensledere innen halvleder- og laserteknologi å erkjenne at en plattform for optisk måling ikke bare er en base – den er en integrert, ikke-forhandlingsbar del av selve det optiske systemet.
Kravene til optisk inspeksjon – som inkluderer avbildning med høy forstørrelse, laserskanning og interferometri – er definert av behovet for å eliminere alle kilder til målestøy. Dette fører til et fokus på tre spesielle egenskaper som skiller en ekte optisk plattform fra en standard industriell plattform.
1. Overlegen tetthet for uovertruffen vibrasjonsdemping
For standard industrielle CNC-baser kan støpejern eller typisk granitt gi tilstrekkelig stivhet. Optiske oppsett er imidlertid usedvanlig følsomme for ørsmå forskyvninger forårsaket av eksterne vibrasjoner fra fabrikkutstyr, luftbehandlingssystemer eller til og med fjern trafikk.
Det er her materialvitenskap blir avgjørende. En optisk plattform krever granitt med eksepsjonell iboende materialdemping. ZHHIMG® benytter sin proprietære ZHHIMG® Black Granite (≈ 3100 kg/m³). Dette materialet med ultrahøy tetthet har, i motsetning til granitt- eller marmorerstatninger av lavere kvalitet, en krystallinsk struktur som er svært effektiv til å avlede mekanisk energi. Målet er ikke bare å redusere vibrasjoner, men å sikre at basen forblir et helt stille mekanisk gulv, noe som minimerer relativ bevegelse mellom objektivlinsen og den inspiserte prøven på submikronnivå.
2. Ekstrem termisk stabilitet for å bekjempe drift
Standard industrielle plattformer tolererer mindre dimensjonsendringer; en tiendedels grad Celsius spiller kanskje ingen rolle for boring. Men i optiske systemer som utfører presise målinger over lengre perioder, introduserer enhver termisk avvikelse i basens geometri systematisk feil.
For optisk inspeksjon må en plattform fungere som en termisk avløpsrenser med en usedvanlig lav termisk utvidelseskoeffisient (CTE). Den overlegne massen og tettheten til ZHHIMG® Black Granite gir den nødvendige termiske tregheten for å motstå små utvidelser og sammentrekninger som kan oppstå i et klimakontrollert rom. Denne stabiliteten sikrer at den kalibrerte fokusavstanden og planjusteringen av de optiske komponentene forblir fast, noe som garanterer integriteten til målinger som strekker seg over flere timer – en ikke-forhandlingsbar faktor for høyoppløselig waferinspeksjon eller flatskjermmåling.
3. Oppnå nanonivåflathet og geometrisk presisjon
Den mest synlige forskjellen er kravet til flathet. Mens en vanlig industribase kan oppfylle planhet i grad 1 eller grad 0 (målt i noen få mikrometer), krever optiske systemer nøyaktighet i nanometerområdet. Dette nivået av geometrisk perfeksjon er nødvendig for å gi et pålitelig referanseplan for lineære scener og autofokussystemer som opererer etter prinsippene om lysinterferens.
Å oppnå og sertifisere nanometernivåplanhet krever en helt annen produksjonsmetode. Det involverer svært spesialiserte teknikker ved bruk av avansert maskineri som Taiwan Nanter-slipemaskiner, og bekreftes av sofistikert metrologiutstyr som Renishaw laserinterferometre. Denne prosessen må finne sted i et ultrastabilt miljø, som for eksempel ZHHIMG®s vibrasjonsdempede, klimakontrollerte verksteder, hvor selv de subtile luftbevegelsene minimeres.
I hovedsak er valg av en presisjonsplattform i granitt for optisk inspeksjon en beslutning om å investere i en komponent som aktivt garanterer presisjonen til selve den optiske målingen. Det krever et samarbeid med en produsent som ikke ser på ISO 9001-sertifisering og omfattende dimensjonssporbarhet som valgfrie funksjoner, men som grunnleggende krav for å komme inn i verdenen av ultrapresisjonsoptikk.
Publisert: 21. oktober 2025