Granitt er en type hard bergart som har blitt et uunnværlig materiale i halvlederindustrien. Egenskapene gjør at den tåler høye temperaturer, noe som gjør den ideell for bruk i ulike stadier av produksjonsprosesser for halvlederkomponenter. Som et resultat har granittmontering funnet omfattende bruksområder i halvlederproduksjonsprodukter.
En av de mest brukte bruksområdene for granittmontering er konstruksjonen av høypresisjons maskinverktøystrukturer. Stivheten og stabiliteten til granitt gjør det mulig å produsere presise og nøyaktige verktøy med liten eller ingen deformasjon. Dette presisjonsnivået er nødvendig i halvlederproduksjonsprosesser som ionimplantasjon, der strålen må rettes nøyaktig mot waferen.
En annen anvendelse av granittmontering i halvlederproduksjon er i konstruksjonen av måleutstyr. Måleutstyr er viktig i halvlederproduksjonsprosesser ettersom det måler og verifiserer nøyaktigheten til enhetene som produseres. Granittens dimensjonsstabilitet, lave termiske ekspansjon og utmerkede vibrasjonsdempende egenskaper gjør det til det foretrukne materialet i konstruksjonen av måleutstyr. Dette inkluderer store granittoverflater som brukes i oppstilling og inspeksjon av wafere.
Optiske bord er enda et område med omfattende bruk av granittmontering i halvlederindustrien. Optiske bord brukes i testing av optiske enheter som bølgeledere for datakommunikasjon. Granittens flathet, lave termiske ekspansjon, høye stivhet og mekaniske stabilitet gjør at den kan gi en svært stabil overflate for montering og plassering av optikk. Granitt optiske bord kan gi den stabiliteten og stivheten som kreves for å utføre nøyaktig og presis testing av optiske enheter.
Granitt finner også anvendelse i konstruksjonen av waferchucker og -trinn. Under produksjonsprosessen for halvledere er presisjonsjustering og posisjonskontroll avgjørende. Waferchucker, som holder waferene på plass under prosessering, må opprettholde posisjonsnøyaktigheten samtidig som de tåler høye temperaturer og vakuumforhold. Granitt har utmerket dimensjonsstabilitet over et bredt temperaturområde og kan tåle vakuumforhold, noe som gjør den ideell for konstruksjon av waferchucker. Trinn som brukes i bevegelse av wafere fra en posisjon til en annen, går gjennom en syklus av bevegelser under en halvlederfabrikasjonsprosess. Granittmontering gir stabilitet og holdbarhet som er nødvendig for å tåle de kontinuerlige og repeterende bevegelsessyklusene.
Oppsummert er bruken av granittmontering i halvlederproduksjonsindustrien enorm. Egenskaper som dimensjonsstabilitet, lav termisk ekspansjon, høy stivhet og vibrasjonsdemping gjør det til et ideelt materiale for bruk i ulike stadier av produksjonsprosesser for halvlederkomponenter. Fra konstruksjon av høypresisjons maskinverktøy og metrologiutstyr til optiske bord og wafertrinn og chucker, spiller granittens egenskaper en avgjørende rolle i å gi stabilitet, nøyaktighet og repeterbarhet som er nødvendig for å oppnå produksjon av halvlederkomponenter av høy kvalitet.
Publisert: 06. des. 2023