Bruksfeltet til enakset luftflytende ultrapresisjonsbevegelsesmodul med granittbase.

Halvlederproduksjon: I brikkeproduksjonsprosessen må fotolitografiprosessen overføre kretsmønsteret presist til waferen. Granittbasen til den enaksede luftflytende ultrapresisjonsbevegelsesmodulen kan gi høy presisjonsposisjonering og stabil støtte for waferbordet i litografiutstyret. For eksempel bruker ASML og andre internasjonalt anerkjente litografimaskinprodusenter granittbaserte luftflytende bevegelsesmoduler i sitt avanserte utstyr, som kan kontrollere posisjoneringsnøyaktigheten til waferen på nanometernivå for å sikre nøyaktigheten til litografimønsteret, og dermed forbedre integrasjonen og ytelsen til brikken.
Presisjonsmålingsfelt: CMM er et presisjonsmåleutstyr som ofte brukes i industriell produksjon, og som brukes til å måle størrelsen, formen og posisjonsnøyaktigheten til arbeidsstykket. Den ultrapresisjonsbevegelsesmodulen til den enaksede luftflyteren på granittbasen kan brukes som bevegelsesplattform for CMM-en, som kan realisere lineær bevegelse med høy presisjon og gi en stabil bevegelsesbane for målesonden. For eksempel bruker Hexagons avanserte CMM denne kombinasjonen til å måle store og komplekse deler med målenøyaktighet opp til mikronnivå, noe som gir en sterk garanti for kvalitetskontroll av deler i bil-, luftfarts- og annen industri.
Luftfartsfeltet: Høy presisjon kreves i prosessering og testing av luftfartsdeler. For eksempel krever maskinering av flymotorblader presis kontroll av verktøyets bevegelsesbane for å sikre nøyaktigheten av bladprofilen. Granittbasen til den ultrapresisjonsbevegelsesmodulen med én akse og luftflyt kan brukes på femaksede maskineringssentre og annet utstyr for å gi høy presisjonsbevegelseskontroll for verktøyet og sikre at bladets maskineringsnøyaktighet kan oppfylle designkravene. Samtidig er det i monteringsprosessen av flymotoren også nødvendig å bruke høy presisjonsmåleutstyr for å oppdage delenes monteringsnøyaktighet. Den luftflytende bevegelsesmodulen til granittbasen kan gi stabil støtte og nøyaktig bevegelse for måleutstyret for å sikre monteringskvaliteten.
Optisk inspeksjonsfelt: I produksjons- og testprosessen av optiske komponenter er det nødvendig å utføre høypresisjonsposisjonering og -måling av optiske komponenter. For eksempel, når man produserer høypresisjonsoptiske komponenter som speil og linser, er det nødvendig å bruke interferometre og annet utstyr for å oppdage nøyaktigheten av overflateformen. Granittbasen til den enaksede luftflytende ultrapresisjonsbevegelsesmodulen kan brukes som bevegelsesplattform for interferometeret, noe som kan oppnå submikronposisjoneringsnøyaktighet og gi nøyaktig datastøtte for deteksjon av optiske komponenter. I tillegg er det i laserbehandlingsutstyret også nødvendig å bruke en høypresisjonsbevegelsesplattform for å kontrollere skannebanen til laserstrålen. Granittbasen til den luftflytende bevegelsesmodulen kan oppfylle dette kravet for å oppnå høypresisjonslaserbehandling.