Granittkomponenter har blitt mye brukt i halvlederproduksjonsprosessen på grunn av deres utmerkede egenskaper som overlegen overflatefinish, høy stivhet og utmerket vibrasjonsdemping. Granittkomponenter er viktige for halvlederproduksjonsutstyr, inkludert litografimaskiner, poleringsmaskiner og metrologisystemer når de gir presisjonsposisjonering og stabilitet under produksjonsprosessen. Til tross for alle fordelene ved å bruke granittkomponenter, har de også feil. I denne artikkelen vil vi diskutere feilene av granittkomponenter for halvlederproduksjonsprosessprodukter.
For det første har granittkomponenter en høy termisk ekspansjonskoeffisient. Det betyr at de utvides betydelig under termisk stress, noe som kan forårsake problemer under produksjonsprosessen. Produksjonsprosessen for halvleder krever høy presisjon og dimensjonal nøyaktighet som kan kompromitteres på grunn av termisk stress. For eksempel kan silisiumskivedeformasjon på grunn av termisk ekspansjon forårsake justeringsproblemer under litografi, noe som kan kompromittere kvaliteten på halvlederapparatet.
For det andre har granittkomponenter porøsitetsdefekter som kan forårsake vakuumlekkasjer i halvlederproduksjonsprosessen. Tilstedeværelsen av luft eller annen gass i systemet kan forårsake forurensning på skivenes overflate, noe som resulterer i feil som kan påvirke halvlederapparatets ytelse. Inerte gasser som argon og helium kunne sive inn i porøse granittkomponenter og lage gassbobler som kan forstyrre vakuumprosessens integritet.
For det tredje har granittkomponenter mikrofrakturer som kan forstyrre produksjonsprosessens presisjon. Granitt er et sprøtt materiale som kan utvikle mikrofrakturer over tid, spesielt når de blir utsatt for konstante stresssykluser. Tilstedeværelsen av mikrofrakturer kan føre til dimensjonell ustabilitet, og forårsake betydelige problemer under produksjonsprosessen, for eksempel litografijustering eller polering av skive.
For det fjerde har granittkomponenter begrenset fleksibilitet. Produksjonsprosessen for halvleder krever fleksibelt utstyr som kan imøtekomme forskjellige prosessendringer. Imidlertid er granittkomponenter stive og kan ikke tilpasse seg forskjellige prosessendringer. Derfor krever eventuelle endringer i produksjonsprosessen fjerning eller utskifting av granittkomponentene, noe som fører til driftsstans og påvirker produktiviteten.
Femte granittkomponenter krever spesiell håndtering og transport på grunn av deres vekt og skjørhet. Granitt er et tett og tungt materiale som krever spesialisert håndteringsutstyr som kraner og løftere. I tillegg krever granittkomponenter nøye pakking og transport for å forhindre skade under forsendelse, noe som fører til ekstra kostnader og tid.
Avslutningsvis har granittkomponenter noen ulemper som kan påvirke halvlederproduksjonsprosessenes kvalitet og produktivitet. Disse feilene kan minimeres gjennom nøye håndtering og vedlikehold av granittkomponenter, inkludert periodisk inspeksjon for mikrofrakturer og porøsitetsdefekter, riktig rengjøring for å forhindre forurensning og nøye håndtering under transport. Til tross for manglene, er granittkomponenter fortsatt en viktig del av halvlederproduksjonsprosessen på grunn av deres overlegne overflatefinish, høy stivhet og utmerket vibrasjonsdemping.
Post Time: DEC-05-2023