Granittkomponenter har blitt mye brukt i halvlederproduksjonsprosessen på grunn av deres utmerkede egenskaper som overlegen overflatefinish, høy stivhet og utmerket vibrasjonsdemping.Granittkomponenter er avgjørende for halvlederfabrikasjonsutstyr, inkludert litografimaskiner, poleringsmaskiner og metrologisystemer, da de gir presisjonsposisjonering og stabilitet under produksjonsprosessen.Til tross for alle fordelene med å bruke granittkomponenter, har de også feil.I denne artikkelen vil vi diskutere defektene til granittkomponenter for halvlederproduksjonsprosessprodukter.
For det første har granittkomponenter en høy termisk ekspansjonskoeffisient.Det betyr at de utvider seg betydelig under termisk stress, noe som kan forårsake problemer under produksjonsprosessen.Halvlederproduksjonsprosessen krever høy presisjon og dimensjonsnøyaktighet som kan bli kompromittert på grunn av termisk stress.For eksempel kan deformasjon av silisiumplater på grunn av termisk ekspansjon forårsake innrettingsproblemer under litografi, noe som kan kompromittere kvaliteten på halvlederenheten.
For det andre har granittkomponenter porøsitetsdefekter som kan forårsake vakuumlekkasjer i halvlederproduksjonsprosessen.Tilstedeværelsen av luft eller annen gass i systemet kan forårsake forurensning på waferens overflate, noe som resulterer i defekter som kan påvirke halvlederenhetens ytelse.Inerte gasser som argon og helium kan sive inn i porøse granittkomponenter og skape gassbobler som kan forstyrre vakuumprosessens integritet.
For det tredje har granittkomponenter mikrofrakturer som kan forstyrre produksjonsprosessens presisjon.Granitt er et sprøtt materiale som kan utvikle mikrobrudd over tid, spesielt når det utsettes for konstante stresssykluser.Tilstedeværelsen av mikrofrakturer kan føre til dimensjonal ustabilitet, og forårsake betydelige problemer under produksjonsprosessen, for eksempel litografijustering eller polering av skiver.
For det fjerde har granittkomponenter begrenset fleksibilitet.Fremstillingsprosessen for halvledere krever fleksibelt utstyr som kan imøtekomme ulike prosessendringer.Granittkomponenter er imidlertid stive og kan ikke tilpasse seg forskjellige prosessendringer.Derfor krever enhver endring i produksjonsprosessen fjerning eller utskifting av granittkomponentene, noe som fører til nedetid og påvirker produktiviteten.
For det femte krever granittkomponenter spesiell håndtering og transport på grunn av deres vekt og skjørhet.Granitt er et tett og tungt materiale som krever spesialisert håndteringsutstyr som kraner og løftere.I tillegg krever granittkomponenter nøye pakking og transport for å forhindre skade under forsendelsen, noe som fører til ekstra kostnader og tid.
Avslutningsvis har granittkomponenter noen ulemper som kan påvirke kvaliteten og produktiviteten til halvlederproduksjonsprosesser.Disse defektene kan minimeres gjennom forsiktig håndtering og vedlikehold av granittkomponenter, inkludert periodisk inspeksjon for mikrofrakturer og porøsitetsdefekter, riktig rengjøring for å forhindre kontaminering og forsiktig håndtering under transport.Til tross for defektene forblir granittkomponenter en viktig del av halvlederproduksjonsprosessen på grunn av deres overlegne overflatefinish, høye stivhet og utmerkede vibrasjonsdemping.
Innleggstid: Des-05-2023