Granitt er en naturlig forekommende bergart som har vært brukt i lang tid i utstyr for prosessering av wafer.Den er kjent for sine utmerkede egenskaper med lav termisk ekspansjon, høy stivhet og god stabilitet.Imidlertid, som alle materialer, har granitt sitt eget sett med defekter som kan påvirke kvaliteten på utstyret for waferbehandling.
En av de største defektene til granitt er dens tendens til å sprekke eller knekke.Dette skyldes tilstedeværelsen av mikrosprekker som kan oppstå under dannelsen av bergarten.Hvis disse mikrosprekkene ikke identifiseres og behandles riktig, kan de forplante seg og føre til feil på utstyret.For å forhindre at dette skjer, må produsenter av prosessutstyr bruke granitt av høy kvalitet som er behandlet og testet for å sikre at den er fri for mikrosprekker.
En annen defekt ved granitt er dens mottakelighet for korrosjon.Hvis granittutstyr kommer i kontakt med korrosive miljøer, kan det begynne å brytes ned over tid.Dette kan føre til at utstyret blir skadet eller ikke fungerer som det skal.For å forhindre dette må produsentene sørge for at granitten som brukes i utstyret deres er riktig behandlet og belagt for å forhindre at korrosjon oppstår.
Granitt er også utsatt for å vri seg over tid på grunn av dens iboende termiske egenskaper.Dette er fordi granitt har en veldig lav termisk utvidelseskoeffisient, noe som betyr at den ikke utvider seg eller trekker seg mye sammen når den utsettes for endringer i temperaturen.Selv en liten mengde ekspansjon eller sammentrekning kan imidlertid føre til vridning i utstyret over tid.Det er viktig at utstyrsprodusenten tar hensyn til de termiske egenskapene til granitten når de designer utstyret sitt for å forhindre at denne feilen oppstår.
Til slutt kan granittens porøse natur føre til problemer med forurensning.Hvis granitten ikke er ordentlig forseglet, kan den absorbere forurensninger som kan påvirke kvaliteten på waferen.Dette kan føre til kostbar nedetid og tapt produksjon.For å forhindre dette, må produsentene forsegle granitten ordentlig for å forhindre at forurensninger absorberes.
Avslutningsvis er granitt et utmerket materiale for bruk i utstyr for prosessering av wafer.Det er imidlertid viktig å være klar over defektene og ta de nødvendige forholdsregler for å forhindre at de oppstår.Med riktig stell og vedlikehold kan granittutstyr fortsette å fungere i mange år, og gir høykvalitets wafere for halvlederindustrien.
Innleggstid: 27. desember 2023