Granitt er en naturlig forekommende bergart som lenge har blitt brukt i waferbehandlingsutstyr. Den er kjent for sine utmerkede egenskaper med lav termisk ekspansjon, høy stivhet og god stabilitet. Imidlertid, som alle materialer, har granitt sine egne defekter som kan påvirke kvaliteten på waferbehandlingsutstyret.
En av de største feilene ved granitt er dens tendens til å sprekke eller brekke. Dette skyldes tilstedeværelsen av mikrosprekker som kan oppstå under dannelsen av bergarten. Hvis disse mikrosprekkene ikke identifiseres og behandles riktig, kan de forplante seg og føre til at utstyret svikter. For å forhindre at dette skjer, må produsenter av prosesseringsutstyr bruke granitt av høy kvalitet som er behandlet og testet for å sikre at den er fri for mikrosprekker.
En annen ulempe ved granitt er dens mottakelighet for korrosjon. Hvis granittutstyr kommer i kontakt med korrosive miljøer, kan det begynne å brytes ned over tid. Dette kan føre til at utstyret blir skadet eller ikke fungerer som det skal. For å forhindre dette må produsenter sørge for at granitten som brukes i utstyret deres er behandlet og belagt på riktig måte for å forhindre korrosjon.
Granitt er også utsatt for vridning over tid på grunn av sine iboende termiske egenskaper. Dette er fordi granitt har en svært lav termisk utvidelseskoeffisient, noe som betyr at den ikke utvider eller trekker seg mye sammen når den utsettes for temperaturendringer. Imidlertid kan selv en liten mengde utvidelse eller sammentrekning forårsake vridning i utstyret over tid. Det er viktig at utstyrsprodusenten tar hensyn til granittens termiske egenskaper når de designer utstyret sitt for å forhindre at denne feilen oppstår.
Til slutt kan granittens porøse natur føre til problemer med forurensning. Hvis granitten ikke er ordentlig forseglet, kan den absorbere forurensninger som kan påvirke kvaliteten på skiven. Dette kan føre til kostbar nedetid og tapt produksjon. For å forhindre dette må produsentene forsegle granitten ordentlig for å forhindre at forurensninger absorberes.
Avslutningsvis er granitt et utmerket materiale for bruk i waferbehandlingsutstyr. Det er imidlertid viktig å være oppmerksom på dets mangler og ta nødvendige forholdsregler for å forhindre at de oppstår. Med riktig stell og vedlikehold kan granittutstyr fortsette å fungere i mange år, og gi wafere av høy kvalitet til halvlederindustrien.
Publisert: 27. desember 2023