Innenfor avansert produksjon og banebrytende vitenskapelig forskning er presisjons statisk trykkluftflytende bevegelsesplattform nøkkelutstyret for å oppnå ultrapresisjonsdrift. Presisjonsbasen av granitt er den sentrale støttedelen av plattformen, og ytelsen er nært knyttet til arbeidsmiljøet. Å forstå og oppfylle disse miljøkravene kan ikke bare sikre plattformens høypresisjonsdrift, men også være en viktig del av bedriftens konkurranseevne på relaterte felt, som beskrevet i detalj nedenfor.
1. Temperatur: presis kontroll for å sikre dimensjonsstabilitet
Selv om granitt er kjent for sin stabilitet, er ikke dens termiske utvidelseskoeffisient null, og små temperaturendringer kan fortsatt påvirke dens dimensjonale nøyaktighet. Generelt sett er den termiske utvidelseskoeffisienten til granitt 5-7 × 10⁻⁶/℃. I bruksscenariet for presisjons statisk trykkluft flytende bevegelsesplattform, forsterkes denne lille endringen av plattformen, noe som kan føre til avvik i bevegelsesnøyaktigheten. For eksempel, i produksjonsprosessen for halvlederbrikker, kan litografiprosessen for posisjoneringsnøyaktighet krav til danami-nivå, omgivelsestemperaturfluktuasjoner på 1 °C, sidelengden på 1 meter granittbase produsere 5-7 mikron lineær utvidelse eller sammentrekning, noe som er nok til å gjøre brikkens litografimønsteravvik, noe som reduserer utbyttet. Derfor bør den ideelle arbeidsmiljøtemperaturen for presisjons statisk trykkluft flytende plattform utstyrt med granitt presisjonsbase kontrolleres strengt ved 20 °C ±1 °C. Bedrifter kan installere høypresisjons konstant temperatur klimaanlegg, kontinuerlig overvåke og nøyaktig justere omgivelsestemperaturen, opprettholde størrelsen på granittbasen stabilitet, for å sikre at plattformen fungerer med høy presisjon.
2. fuktighet: rimelig kontroll, beskytt basisytelsen
Fuktighet har også en betydelig effekt på presisjonsgranittbaser. I et miljø med høy luftfuktighet absorberer granitt lett vanndamp, og det kan dannes kondens på overflaten, noe som ikke bare vil forstyrre den normale driften av luftflotasjonssystemet, men også føre til langvarig erosjon av granittoverflaten, noe som reduserer nøyaktigheten og levetiden. Hvis vi tar et verksted for sliping av optiske linser som et eksempel, hvis fuktigheten er høyere enn 60 % RF over lengre tid, vil vanndampen som absorberes på overflaten av granittbasen ødelegge ensartetheten til luftflotasjonsfilmen, noe som resulterer i en reduksjon i linsens slipenøyaktighet og overflatefeil. Derfor må den relative fuktigheten i arbeidsmiljøet kontrolleres mellom 40 % og 60 % RF. Bedrifter kan bruke avfuktere, fuktighetssensorer og annet utstyr for å overvåke og kontrollere fuktigheten i sanntid, skape et passende fuktighetsmiljø for presisjonsgranittbasen og sikre stabil drift av den presisjons statiske trykkluftflytende bevegelsesplattformen.
3. renslighet: streng kontroll, eliminer partikkelforstyrrelser
Støvpartikler er "fienden" til presisjonsplattformer med statisk trykkluft, og de gjør stor skade på granittbasen. Når de små partiklene kommer inn i gassfilmgapet mellom gassflyterens glidebryter og granittbasen, kan de ødelegge ensartetheten til gassfilmen, øke friksjonen og til og med ripe opp overflaten på basen, noe som alvorlig påvirker nøyaktigheten til plattformbevegelsen. I ultrapresisjonsmaskineringsverkstedet for luftfartsdeler, hvis støvpartikler i luften faller på granittbasen, kan bevegelsesbanen til maskineringsverktøyet avvike, noe som påvirker delenes maskineringsnøyaktighet. Derfor bør arbeidsområdet holdes svært rent og nå en renhetsstandard på 10 000 eller enda høyere. Bedrifter kan filtrere ut støvpartikler i luften ved å installere høyeffektive luftfiltre (HEPA), og kreve at ansatte bruker støvfrie klær, skotrekk osv. for å redusere støv fra mennesker og opprettholde et høypresisjons driftsmiljø for granittbasen og presisjonsplattformer med statisk trykkluft.
4. Vibrasjon: Effektiv isolasjon for å skape et jevnt rom
Ekstern vibrasjon vil i alvorlig grad forstyrre presisjonen til den flytende presisjonsplattformen med statisk trykkluft. Selv om presisjonsgranittbasen har en viss vibrasjonsdempingskapasitet, kan den høye vibrasjonen fortsatt bryte buffergrensen. Vibrasjonene som genereres av trafikken rundt fabrikken og driften av stort mekanisk utstyr overføres til granittbasen gjennom bakken, noe som vil forstyrre nøyaktigheten av plattformbevegelsen. I avanserte CMM-maskiner kan vibrasjon føre til at kontakten mellom målesonden og arbeidsstykket som skal måles blir ustabil, noe som resulterer i avvik i måledataene. For å løse dette problemet er det nødvendig å iverksette effektive vibrasjonsisolasjonstiltak, for eksempel å legge vibrasjonsisolasjonsputer i utstyrets installasjonsområde, bygge vibrasjonsisolasjonsfundament eller bruke et aktivt vibrasjonsisolasjonssystem for å aktivt motvirke ekstern vibrasjon, og skape et stille og stabilt arbeidsmiljø for granittpresisjonsbasen og den flytende presisjonsplattformen med statisk trykkluft.
Oppfyll ovennevnte miljøkrav for å kunne utnytte fordelene med granittpresisjonsbase fullt ut i den presisjons statiske trykkluftflytende bevegelsesplattformen, for å sikre at plattformen tilbyr høy presisjon og høy stabilitet i bevegelseskontrolltjenester for ulike bransjer. Hvis bedrifter kan ta hensyn til disse detaljene i produksjonsmiljøet, vil de gripe muligheten innen presisjonsproduksjon, vitenskapelig forskning og andre felt, forbedre sin konkurranseevne og oppnå bærekraftig utvikling.
Publiseringstid: 10. april 2025