Hva brukes en granitt i skivebehandlingsutstyr?

Granitt er et populært materiale i wafer -prosesseringsindustrien på grunn av dens eksepsjonelle mekaniske egenskaper og holdbarhet. Det er en naturstein som er utvunnet fra steinbrudd over hele verden og har blitt brukt i århundrer til forskjellige byggeformål, inkludert produksjon av halvlederutstyr. I denne artikkelen vil vi diskutere egenskapene til granitt og dens forskjellige applikasjoner i prosessutstyr for wafer.

Egenskaper til granitt

Granitt er en stollende stein som er sammensatt av glimmer, feltspat og kvarts. Det er kjent for sin eksepsjonelle styrke, hardhet og holdbarhet, noe som gjør det til et ideelt materiale for applikasjoner som krever høy presisjon og nøyaktighet. Granitt har en lav koeffisient for termisk ekspansjon, noe som betyr at den ikke utvides eller trekker seg sammen på grunn av temperaturendringer, noe som gjør den svært stabil. I tillegg er granitt motstandsdyktig mot korrosjon og kjemikalier, noe som gjør det til et ideelt materiale for bruk i tøffe miljøer.

Bruksområder av granitt i skivebehandlingsutstyr

Granitt er et mye brukt materiale i Wafer -prosesseringsindustrien på grunn av den unike kombinasjonen av egenskaper. Følgende er noen av anvendelsene av granitt i prosessutstyr for skive:

1. Metrologiverktøy

Granitt brukes ofte i produksjon av metrologiske verktøy, for eksempel koordinatmålingsmaskiner (CMMS) og optiske målesystemer. Disse verktøyene krever stabile overflater som kan motstå vibrasjoner og varme. Den høye stivheten og lav termisk ekspansjon av granitt gjør det til et ideelt materiale for slike anvendelser.

2. Wafer Chucks

Wafer Chucks brukes til å holde skiver under produksjonsprosessen. Disse chucks krever en flat og stabil overflate for å forhindre at skiven var i sving eller bøying. Granitt gir en flat overflate som er svært stabil og motstandsdyktig mot skjevhet, noe som gjør det til et utmerket materiale for wafer chucks.

3. Kjemisk mekanisk polering (CMP) verktøy

CMP -verktøy brukes til å polere skiver under produksjonsprosessen. Disse verktøyene krever en stabil plattform som kan motstå vibrasjoner og varme. Den utmerkede stivheten og lav termisk ekspansjon av granitt gjør det til et ideelt materiale for CMP -verktøy.

4. Wafer inspeksjonsutstyr

Utstyr for skiveinspeksjon brukes til å inspisere skiver for feil og mangler. Disse verktøyene krever en stabil og flat overflate for å sikre nøyaktige målinger. Granitt gir en stabil og flat overflate som er motstandsdyktig mot skjevhet, noe som gjør det til et ideelt materiale for skiveinspeksjonsutstyr.

Konklusjon

Avslutningsvis er granitt et mye brukt materiale i wafer -prosesseringsindustrien på grunn av dets eksepsjonelle mekaniske egenskaper og holdbarhet. Det brukes ofte i fremstilling av metrologiverktøy, wafer chucks, CMP -verktøy og inspeksjonsutstyr for skive. Den unike kombinasjonen av egenskaper gjør det til et ideelt materiale for applikasjoner som krever høy presisjon og nøyaktighet. Med sine mange fordeler er granitt fortsatt et populært valg for bearbeidingsutstyr, og bruken vil sannsynligvis fortsette å vokse i fremtiden.

Presisjon granite37


Post Time: DEC-27-2023