Granitt er et populært materiale i waferprosesseringsindustrien på grunn av sine eksepsjonelle mekaniske egenskaper og holdbarhet. Det er en naturstein som utvinnes fra steinbrudd over hele verden og har blitt brukt i århundrer til ulike konstruksjonsformål, inkludert produksjon av halvlederutstyr. I denne artikkelen vil vi diskutere egenskapene til granitt og dens ulike bruksområder i waferprosesseringsutstyr.
Egenskaper av granitt
Granitt er en magmatisk bergart som består av glimmer, feltspat og kvarts. Den er kjent for sin eksepsjonelle styrke, hardhet og holdbarhet, noe som gjør den til et ideelt materiale for applikasjoner som krever høy presisjon og nøyaktighet. Granitt har en lav termisk utvidelseskoeffisient, noe som betyr at den ikke utvider seg eller krymper på grunn av temperaturendringer, noe som gjør den svært stabil. I tillegg er granitt motstandsdyktig mot korrosjon og kjemikalier, noe som gjør den til et ideelt materiale for bruk i tøffe miljøer.
Anvendelser av granitt i waferbehandlingsutstyr
Granitt er et mye brukt materiale i waferprosesseringsindustrien på grunn av sin unike kombinasjon av egenskaper. Følgende er noen av bruksområdene for granitt i waferprosesseringsutstyr:
1. Måleverktøy
Granitt brukes ofte i produksjonen av måleverktøy, som koordinatmålemaskiner (CMM-er) og optiske målesystemer. Disse verktøyene krever stabile overflater som kan motstå vibrasjoner og varme. Den høye stivheten og lave termiske utvidelsen til granitt gjør det til et ideelt materiale for slike bruksområder.
2. Waferchucks
Waferchucker brukes til å holde wafere under produksjonsprosessen. Disse chuckene krever en flat og stabil overflate for å forhindre at waferen vrir seg eller bøyer seg. Granitt gir en flat overflate som er svært stabil og motstandsdyktig mot vridning, noe som gjør det til et utmerket materiale for waferchucker.
3. Kjemisk-mekanisk poleringsverktøy (CMP)
CMP-verktøy brukes til å polere wafere under produksjonsprosessen. Disse verktøyene krever en stabil plattform som kan motstå vibrasjoner og varme. Den utmerkede stivheten og lave termiske utvidelsen til granitt gjør det til et ideelt materiale for CMP-verktøy.
4. Utstyr for inspeksjon av skiver
Utstyr for inspeksjon av wafere brukes til å inspisere wafere for defekter og mangler. Disse verktøyene krever en stabil og flat overflate for å sikre nøyaktige målinger. Granitt gir en stabil og flat overflate som er motstandsdyktig mot vridning, noe som gjør det til et ideelt materiale for waferinspeksjonsutstyr.
Konklusjon
Avslutningsvis er granitt et mye brukt materiale i waferprosesseringsindustrien på grunn av dets eksepsjonelle mekaniske egenskaper og holdbarhet. Det brukes ofte i produksjonen av måleverktøy, waferchucker, CMP-verktøy og waferinspeksjonsutstyr. Den unike kombinasjonen av egenskaper gjør det til et ideelt materiale for applikasjoner som krever høy presisjon og nøyaktighet. Med sine mange fordeler er granitt fortsatt et populært valg for waferprosesseringsutstyr, og bruken vil sannsynligvis fortsette å øke i fremtiden.
Publisert: 27. desember 2023