Granitt er et populært materiale i waferprosesseringsindustrien på grunn av dets eksepsjonelle mekaniske egenskaper og holdbarhet.Det er en naturstein som er utvunnet fra steinbrudd over hele verden og har blitt brukt i århundrer til ulike konstruksjonsformål, inkludert produksjon av halvlederutstyr.I denne artikkelen vil vi diskutere egenskapene til granitt og dens ulike bruksområder i utstyr for prosessering av wafer.
Egenskaper til granitt
Granitt er en magmatisk bergart som er sammensatt av glimmer, feltspat og kvarts.Det er kjent for sin eksepsjonelle styrke, hardhet og holdbarhet, noe som gjør det til et ideelt materiale for applikasjoner som krever høy presisjon og nøyaktighet.Granitt har en lav termisk ekspansjonskoeffisient, noe som betyr at den ikke utvider seg eller trekker seg sammen på grunn av temperaturendringer, noe som gjør den svært stabil.I tillegg er granitt motstandsdyktig mot korrosjon og kjemikalier, noe som gjør det til et ideelt materiale for bruk i tøffe miljøer.
Anvendelser av granitt i wafer-behandlingsutstyr
Granitt er et mye brukt materiale i waferprosesseringsindustrien på grunn av sin unike kombinasjon av egenskaper.Følgende er noen av bruksområdene for granitt i utstyr for prosessering av wafer:
1. Metrologiverktøy
Granitt brukes ofte i produksjon av måleverktøy, for eksempel koordinatmålemaskiner (CMM) og optiske målesystemer.Disse verktøyene krever stabile overflater som kan motstå vibrasjoner og varme.Den høye stivheten og den lave termiske ekspansjonen til granitt gjør det til et ideelt materiale for slike bruksområder.
2. Wafer Chucks
Wafer-chucker brukes til å holde wafere under produksjonsprosessen.Disse chuckene krever en flat og stabil overflate for å hindre at waferen bøyer seg eller bøyer seg.Granitt gir en flat overflate som er svært stabil og motstandsdyktig mot vridning, noe som gjør det til et utmerket materiale for wafer-chucker.
3. Verktøy for kjemisk mekanisk polering (CMP).
CMP-verktøy brukes til å polere wafere under produksjonsprosessen.Disse verktøyene krever en stabil plattform som kan motstå vibrasjoner og varme.Den utmerkede stivheten og den lave termiske ekspansjonen til granitt gjør det til et ideelt materiale for CMP-verktøy.
4. Wafer Inspeksjonsutstyr
Waferinspeksjonsutstyr brukes til å inspisere wafere for defekter og feil.Disse verktøyene krever en stabil og flat overflate for å sikre nøyaktige målinger.Granitt gir en stabil og flat overflate som er motstandsdyktig mot vridning, noe som gjør det til et ideelt materiale for waferinspeksjonsutstyr.
Konklusjon
Avslutningsvis er granitt et mye brukt materiale i wafer-prosesseringsindustrien på grunn av dets eksepsjonelle mekaniske egenskaper og holdbarhet.Det brukes ofte i produksjon av måleverktøy, wafer-chucker, CMP-verktøy og waferinspeksjonsutstyr.Den unike kombinasjonen av egenskaper gjør det til et ideelt materiale for bruksområder som krever høy presisjon og nøyaktighet.Med sine mange fordeler er granitt fortsatt et populært valg for utstyr for prosessering av wafer, og bruken av den vil sannsynligvis fortsette å vokse i fremtiden.
Innleggstid: 27. desember 2023