Granitt er et utmerket materiale for maskinbaser, spesielt for waferbehandlingsutstyr, på grunn av dets unike egenskaper som høy stivhet, lav termisk ekspansjon og overlegne vibrasjonsdempende egenskaper. Mens metall tradisjonelt har blitt brukt som materiale for maskinbaser, har granitt fremstått som et overlegent alternativ av følgende årsaker:
Høy stivhet: En maskinbase må være stiv og stabil for å minimere vibrasjoner og opprettholde nøyaktighet under waferbehandling. Granitt har et høyt stivhet-til-vekt-forhold, noe som gjør den ekstremt stiv og stabil, og dermed reduserer vibrasjoner og sikrer utmerket maskineringsnøyaktighet.
Lav termisk ekspansjon: Temperaturendringer kan føre til at metall utvider seg eller trekker seg sammen, noe som resulterer i dimensjonsendringer i maskinbasen og fører til unøyaktigheter i bearbeidingen. Granitt har derimot en lav termisk utvidelseskoeffisient, noe som betyr at den ikke utvider seg eller trekker seg sammen mye med temperaturendringer, noe som sikrer stabilitet og nøyaktighet i bearbeidingen.
Overlegen vibrasjonsdemping: Vibrasjon er et vanlig problem i maskinverktøy, og det kan føre til dimensjonsfeil, problemer med overflatefinishen og til og med for tidlig slitasje på maskinkomponentene. Granitt er kjent for sine utmerkede vibrasjonsdempende egenskaper, noe som betyr at den kan absorbere og dempe vibrasjoner, noe som sikrer jevn og nøyaktig bearbeiding.
Kjemisk resistens: Waferbehandling innebærer bruk av ulike kjemikalier, og eksponering for disse kjemikaliene kan forårsake korrosjon og nedbrytning av maskinbasen over tid. Granitt er svært motstandsdyktig mot kjemisk korrosjon, noe som gjør det til et trygt og slitesterkt materialvalg for maskinbaser i waferbehandlingsutstyr.
Lavt vedlikehold: Granitt krever minimalt vedlikehold, er lett å rengjøre og korroderer eller ruster ikke som metall. Dette betyr lavere vedlikeholdskostnader og mindre nedetid for utstyret.
Alt i alt gir det flere fordeler å velge granitt fremfor metall som maskinbase for waferbehandlingsutstyr, inkludert høy stivhet, lav termisk ekspansjon, overlegen vibrasjonsdemping, utmerket kjemisk motstand og lite vedlikehold. Disse fordelene sikrer at maskinbasen forblir stabil, nøyaktig og holdbar, noe som resulterer i waferbehandling av høy kvalitet og økt produktivitet.
Publisert: 28. desember 2023