Granitt er et utmerket materiale for maskinbaser, spesielt for waferbehandlingsutstyr, på grunn av dets unike egenskaper som høy stivhet, lav termisk ekspansjon og overlegne vibrasjonsdempende egenskaper.Mens metall tradisjonelt har blitt brukt som materiale for maskinbaser, har granitt dukket opp som et overlegent alternativ på grunn av følgende årsaker:
Høy stivhet: En maskinbase må være stiv og stabil for å minimere vibrasjoner og opprettholde nøyaktigheten under waferbehandling.Granitt har et høyt stivhet-til-vekt-forhold, noe som gjør den ekstremt stiv og stabil, og reduserer dermed vibrasjoner og sikrer utmerket maskineringsnøyaktighet.
Lav termisk ekspansjon: Temperaturendringer kan føre til at metall ekspanderer eller trekker seg sammen, noe som resulterer i dimensjonsendringer i maskinbasen og fører til unøyaktigheter i behandlingen.Granitt har derimot en lav termisk ekspansjonskoeffisient, noe som betyr at den ikke utvider seg eller trekker seg mye sammen med temperaturendringer, noe som sikrer stabilitet og nøyaktighet i behandlingen.
Overlegen vibrasjonsdemping: Vibrasjon er et vanlig problem i maskinverktøy, og det kan føre til dimensjonsfeil, overflatefinishproblemer og til og med for tidlig slitasje av maskinkomponentene.Granitt er kjent for sine utmerkede vibrasjonsdempende egenskaper, som gjør at den kan absorbere og dempe vibrasjoner, noe som sikrer jevn og nøyaktig behandling.
Kjemikaliebestandighet: Waferbehandling innebærer bruk av ulike kjemikalier, og eksponering for disse kjemikaliene kan forårsake korrosjon og nedbrytning av maskinbasen over tid.Granitt er svært motstandsdyktig mot kjemisk korrosjon, noe som gjør det til et trygt og holdbart materialvalg for maskinbaser i utstyr for prosessering av wafer.
Lite vedlikehold: Granitt krever minimalt vedlikehold, er lett å rengjøre og korroderer eller ruster ikke som metall.Dette betyr lavere vedlikeholdskostnader og mindre nedetid for utstyret.
Samlet sett gir det å velge granitt fremfor metall for en maskinbase for waferbehandlingsutstyr flere fordeler, inkludert høy stivhet, lav termisk ekspansjon, overlegen vibrasjonsdemping, utmerket kjemisk motstand og lite vedlikehold.Disse fordelene sikrer at maskinbasen forblir stabil, nøyaktig og holdbar, noe som resulterer i høykvalitets waferbehandling og økt produktivitet.
Innleggstid: 28. desember 2023