Halvlederindustrien opererer på en presisjonsskala som flytter grensene for menneskelig oppfinnsomhet. I hjertet av denne industriens kvalitetskontroll – det siste, kritiske trinnet før en brikke anses som klar for markedet – ligger et tilsynelatende enkelt materiale: granitt. Spesielt presisjonsgranittplattformer er den foretrukne løsningen for inspeksjon av halvlederbrikker, et faktum som kan overraske de utenfor feltet. Hos ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) forstår vi dette forholdet godt. Vår ekspertise innen produksjon av ultrahøypresisjons granittkomponenter og måleverktøy har gjort oss til en nøkkelpartner for noen av verdens ledende halvleder- og måleteknikkselskaper. Avhengigheten av granitt for denne kritiske applikasjonen er ikke et spørsmål om tradisjon, men om ren fysikk og ingeniørfag. Det handler om å møte et sett med unike og krevende krav som ingen andre materialer kan tilfredsstille like effektivt.
Det urokkelige kravet om stabilitet
Inspeksjon av halvlederbrikker handler ikke bare om å sjekke for defekter; det handler om å bekrefte at mikroskopiske egenskaper, ofte målt i nanometer, er perfekt formet. Denne prosessen involverer sofistikert utstyr, som optiske inspeksjonssystemer (AOI) og industrielle CT-skannere, som må forbli helt stabile under en skanning. Enhver vibrasjon, termisk ekspansjon eller strukturell avvikelse kan introdusere feil, noe som fører til falske positiver eller, verre, oversett defekter.
Det er her granitt skinner. I motsetning til metall, som utvider og krymper betydelig med temperaturendringer, har granitt en utrolig lav termisk utvidelseskoeffisient. Vår ZHHIMG® Black Granite har en tetthet på omtrent 3100 kg/m3, noe som gir eksepsjonell termisk stabilitet. Dette betyr at en granittplattform vil beholde sin form og flathet selv i miljøer der omgivelsestemperaturen svinger litt. I et klimakontrollert verksted som vårt 10 000 m2 store anlegg, der temperaturen opprettholdes med militær presisjon, er granittens stabilitet uovertruffen.
Videre er granittens overlegne dempningsegenskaper avgjørende. Den absorberer og avleder mekaniske vibrasjoner naturlig, og hindrer dem i å overføres til det delikate inspeksjonsutstyret. I et travelt produksjonsanlegg fylt med maskiner er denne vibrasjonsdempingen avgjørende for å opprettholde målingens integritet. Verkstedene våre er utformet med dette i tankene, med ultratykke betonggulv og vibrasjonsdempende grøfter for å skape et miljø der våre håndverkere kan oppnå presisjon på nanometernivå i arbeidet sitt.
Jakten på absolutt flathet
For at et brikkeinspeksjonssystem skal fungere, må basen være så nær perfekt flat som mulig. Konseptet med en «flat overflate» i denne sammenhengen er ikke visuelt, men matematisk, målt med instrumenter som Renishaw laserinterferometre og sveitsiske Wyler elektroniske vater. Målet til en brikkeinspektør er å måle flatheten til en brikke med noen få mikrometer, eller til og med nanometer. For å gjøre dette må selve plattformen være størrelsesordener flatere.
Granitt er et materiale som, gjennom våre spesialiserte håndlappingsteknikker, kan slipes til en flathetsgrad som er nærmest uten sidestykke. Våre mesterhåndverkere, hvorav mange har over 30 års erfaring, har en taktil sans som lar dem "føle" et flathetsavvik på bare noen få mikrometer. Denne menneskelige berøringen, kombinert med vårt utstyr i verdensklasse, lar oss produsere granittoverflateplater med nanometernivåplanhet, noe som gjør dem til det ideelle referanseplanet for kalibrering og inspeksjon. Dette er grunnlaget som nøyaktig halvlederinspeksjon bygger på.
Håndtere unike krav fra halvlederindustrien
Halvlederindustrien har også spesifikke behov utover stabilitet og flathet. For eksempel bruker mange inspeksjonssystemer luftlagre for friksjonsfri bevegelse. Granitt er et utmerket medium for luftlagreføringer på grunn av sin iboende stivhet og en porøsitet som gir fin, jevn luftstrøm. Våre granittluftlagre er spesialmaskinert for å sikre jevn og presis bevegelse, noe som er avgjørende for høyhastighetsinspeksjon med høy nøyaktighet.
I tillegg er vår ZHHIMG® Black Granite ikke-magnetisk og ikke-ledende, noe som er avgjørende for sensitive elektroniske komponenter. Den forstyrrer ikke de elektromagnetiske feltene til testutstyret eller selve brikken. Denne nøytraliteten er en funksjon som mange metallplattformer rett og slett ikke kan tilby.
Hos ZHHIMG® selger vi ikke bare granitt. Vi gir et kritisk grunnlag for verdens mest avanserte teknologi. Vår forpliktelse overfor kundene er å tilby løsninger som er uten juks, skjuling og villedning. Vi samarbeider tett med våre partnere, inkludert giganter som Samsung og metrologiske institusjoner, for å sikre at produktene våre ikke bare oppfyller spesifikasjonene deres, men også bidrar til utviklingen av teknologien deres. I det høytstående spillet innen halvlederproduksjon er ZHHIMG®s presisjonsgranittplattformer en stille, urokkelig kraft som gir stabiliteten og nøyaktigheten som bringer morgendagens innovasjoner til live.
Publisert: 28. september 2025