Materiale - keramikk

♦ Aluminiumoksyd (Al2O3)

Precision Ceramic Parts produsert av Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhhimg) kan være laget av keramiske råvarer med høy renhet, 92 ~ 97% aluminiumoksyd, 99,5% aluminiumoksyd,> 99,9% aluminiumoksyd og CIP-kald kald isostatisk pressing. Høytemperatur sintring og presisjonsbearbeiding, dimensjons nøyaktighet på ± 0,001 mm, glatthet opp til RA0.1, bruk temperatur opp til 1600 grader. Ulike farger på keramikk kan gjøres i henhold til kundenes krav, for eksempel: svart, hvitt, beige, mørkerød, etc. De presisjon keramiske delene produsert av vårt selskap er motstandsdyktige mot høy temperatur, korrosjon, slitasje og isolasjon, og kan brukes i lang tid i høy temperatur, vakuum og etsende gassmiljø.

Mye brukt i en rekke halvlederproduksjonsutstyr: rammer (keramisk brakett), substrat (base), arm/ bro (manipulator), mekaniske komponenter og keramisk luftlager.

Al2O3

Produktnavn Høy renhet 99 aluminiumoksyd keramisk firkantet rør / rør / stang
Indeks Enhet 85 % AL2O3 95 % AL2O3 99 % AL2O3 99,5 % AL2O3
Tetthet g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Vannabsorpsjon % <0,1 <0,1 0 0
Sintret temperatur 1620 1650 1800 1800
Hardhet Mohs 7 9 9 9
Bøyestyrke (20 ℃)) MPA 200 300 340 360
Trykkstyrke KGF/CM2 10000 25000 30000 30000
Lang tidsarbeidstemperatur 1350 1400 1600 1650
Maks. Arbeidstemperatur 1450 1600 1800 1800
Volumresistivitet 20 ℃ Ω. CM3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Anvendelse av keramikk med høy renhet:
1. Brukte på halvlederutstyr: keramisk vakuum chuck, skjæreplate, rengjøringsskive, keramisk chuck.
2. skiveoverføringsdeler: skivehåndtering av chucks, skive skiver, rengjøringsplater av skive, skive optisk inspeksjon sugekopper.
3. LED / LCD Flat Panel Display Industry: Keramisk dyse, keramisk slipeskive, løftestift, pinnebane.
4. Optisk kommunikasjon, solindustri: keramiske rør, keramiske stenger, kretskort Skjermutskrift Keramiske skrapere.
5. Varmebestandige og elektrisk isolerende deler: Keramiske lagre.
For tiden kan aluminiumoksydkeramikk deles inn i høy renhet og vanlig keramikk. Aluminiumoksydkeramikkserien med høy renhet refererer til det keramiske materialet som inneholder mer enn 99,9% Al₂o₃. På grunn av sintringstemperaturen på opptil 1650 - 1990 ° C og dens overføringsbølgelengde på 1 ~ 6μm, blir den vanligvis behandlet til smeltet glass i stedet for platina -digel: som kan brukes som natriumrør på grunn av dets lysoverføring og korrosjonsmotstand mot alkali metall. I elektronikkindustrien kan det brukes som høyfrekvensisolerende materiale for IC-underlag. I henhold til forskjellige innhold i aluminiumoksyd, kan den vanlige aluminiumoksydkeramiske serien deles inn i 99 keramikk, 95 keramikk, 90 keramikk og 85 keramikk. Noen ganger er keramikken med 80% eller 75% av aluminiumoksyd også klassifisert som vanlig aluminiumoksydkeramisk serie. Blant dem brukes 99 aluminiumoksyd keramisk materiale til å produsere digel med høy temperatur, brannsikringsovn og spesielle slitasje-motstandsdyktige materialer, for eksempel keramiske lagre, keramiske tetninger og ventilplater. 95 Aluminiums keramikk brukes hovedsakelig som korrosjonsbestandig slitasjebestandig del. 85 Keramikk blandes ofte i noen egenskaper, og forbedrer dermed elektrisk ytelse og mekanisk styrke. Den kan bruke molybden, niob, tantal og andre metallforseglinger, og noen brukes som elektriske vakuumenheter.

 

Kvalitetselement (representativ verdi) Produktnavn AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Kjemisk sammensetning med lavt natrium enkel sintringsprodukt H₂o % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Lol % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
Sio₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂o % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
Mgo* % - 0.11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Medium partikkeldiameter (MT-3300, laseranalysemetode) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α krystallstørrelse μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Dannende tetthet ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sintringstetthet ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Krympende hastighet på sintringslinjen ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MGO er ikke inkludert i beregningen av renheten til Al₂o₃.
* Ingen skaleringspulver 29,4MPa (300 kg/cm²), sintringstemperaturen er 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Legg til 0,05 ~ 0,1% MgO, sinkingbarheten er utmerket, så den er anvendelig for aluminiumoksydkeramikk med renheten på mer enn 99%.
AES-22s: Karakterisert ved høy formingstetthet og lav krympende hastighet på sintringslinjen, er det aktuelt å skli formstøping og andre store produkter med nødvendig dimensjonell nøyaktighet.
AES-23 / AES-31-03: Den har en høyere formingstetthet, tixotropi og en lavere viskositet enn AES-22s. Førstnevnte er vant til keramikk mens sistnevnte brukes som vannreduserende for brannsikringsmaterialer, og får popularitet.

♦ Silisiumkarbid (SIC) egenskaper

Generelle egenskaper Renhet av hovedkomponenter (vekt%) 97
Farge Svart
Tetthet (g/cm³) 3.1
Vannabsorpsjon (%) 0
Mekaniske egenskaper Bøyningsstyrke (MPA) 400
Young Modulus (GPA) 400
Vickers Hardness (GPA) 20
Termiske egenskaper Maksimal driftstemperatur (° C) 1600
Termisk ekspansjonskoeffisient RT ~ 500 ° C. 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C. 4.3
Termisk konduktivitet (w/m x k) 130 110
Termisk støtmotstand ΔT (° C) 300
Elektriske egenskaper Volumresistivitet 25 ° C. 3 x 106
300 ° C. -
500 ° C. -
800 ° C. -
Dielektrisk konstant 10ghz -
Dielektrisk tap (x 10-4) -
Q Factor (x 104) -
Dielektrisk nedbrytningsspenning (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Silisiumnitrid keramikk

Materiale Enhet Si₃n₄
Sintringsmetode - Gasstrykk sintret
Tetthet g/cm³ 3.22
Farge - Mørk grå
Vannabsorpsjonshastighet % 0
Ung modul GPA 290
Vickers hardhet GPA 18 - 20
Trykkstyrke MPA 2200
Bøyestyrke MPA 650
Termisk konduktivitet W/mk 25
Termisk sjokkmotstand Δ (° C) 450 - 650
Maksimal driftstemperatur ° C. 1200
Volumresistivitet Ω · cm > 10 ^ 14
Dielektrisk konstant - 8.2
Dielektrisk styrke KV/mm 16