♦Alumina(Al2O3)
De presisjons keramiske delene produsert av ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kan være laget av høyrente keramiske råvarer, 92~97% alumina, 99,5% alumina, >99,9% alumina og CIP kald isostatisk pressing.Høytemperatursintring og presisjonsbearbeiding, dimensjonsnøyaktighet på ± 0,001 mm, glatthet opp til Ra0,1, brukstemperatur opp til 1600 grader.Ulike farger på keramikk kan lages i henhold til kundenes krav, for eksempel: svart, hvit, beige, mørk rød, etc. De presisjons keramiske delene produsert av vårt selskap er motstandsdyktige mot høy temperatur, korrosjon, slitasje og isolasjon, og kan brukt i lang tid i høy temperatur, vakuum og etsende gassmiljø.
Mye brukt i en rekke halvlederproduksjonsutstyr: Rammer (keramisk brakett), substrat (base), arm/bro (manipulator), mekaniske komponenter og keramisk luftlager.
Produktnavn | Høy renhet 99 aluminiumoksyd keramisk firkantet rør / rør / stang | |||||
Indeks | Enhet | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Tetthet | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Vannabsorpsjon | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintret temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hardhet | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Bøyestyrke (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Trykkfasthet | Kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
Langtidsarbeidstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks.Arbeidstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumresistivitet | 20 ℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Anvendelse av aluminiumoksydkeramikk med høy renhet:
1. Brukes på halvlederutstyr: keramisk vakuumchuck, skjæreskive, renseskive, keramisk CHUCK.
2. Wafer-overføringsdeler: wafer-håndterings-chucker, wafer-skjæreskiver, wafer-renseskiver, wafer-optiske inspeksjonssugekopper.
3. LED / LCD-flatskjermindustri: keramisk munnstykke, keramisk slipeskive, LIFT PIN, PIN-skinne.
4. Optisk kommunikasjon, solenergi industri: keramiske rør, keramiske stenger, kretskort skjermen utskrift keramiske skraper.
5. Varmebestandige og elektrisk isolerende deler: keramiske lagre.
For tiden kan aluminiumoksidkeramikk deles inn i høy renhet og vanlig keramikk.Keramikkserien med høy renhet av aluminiumoksid refererer til det keramiske materialet som inneholder mer enn 99,9 % Al2O3.På grunn av sintringstemperaturen på opptil 1650 - 1990°C og dens transmisjonsbølgelengde på 1 ~ 6μm, blir den vanligvis bearbeidet til smeltet glass i stedet for platinadigel: som kan brukes som natriumrør på grunn av lystransmittansen og korrosjonsbestandigheten til alkalimetall.I elektronikkindustrien kan det brukes som høyfrekvent isolasjonsmateriale for IC-substrater.I henhold til forskjellig innhold av aluminiumoksid, kan den vanlige aluminiumoksidkeramikkserien deles inn i 99 keramikk, 95 keramikk, 90 keramikk og 85 keramikk.Noen ganger er keramikken med 80% eller 75% aluminiumoksyd også klassifisert som vanlig aluminiumoksydkeramikkserie.Blant dem brukes 99 aluminiumoksid keramisk materiale til å produsere høytemperaturdigeler, brannsikre ovnsrør og spesielle slitesterke materialer, som keramiske lagre, keramiske tetninger og ventilplater.95 aluminiumkeramikk brukes hovedsakelig som korrosjonsbestandig slitebestandig del.85 keramikk er ofte blandet i enkelte egenskaper, og forbedrer dermed elektrisk ytelse og mekanisk styrke.Den kan bruke molybden, niob, tantal og andre metalltetninger, og noen brukes som elektriske vakuumenheter.
Kvalitetselement (representativ verdi) | Produktnavn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kjemisk sammensetning lav-natrium Lett sintringsprodukt | H2O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOl | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO2 | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na20 | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al203 | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Middels partikkeldiameter (MT-3300, laseranalysemetode) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Krystallstørrelse | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formingstetthet** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sintringstetthet** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Krympehastighet for sintringslinje** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO er ikke inkludert i beregningen av renheten til Al2O3.
* Ikke avleiringspulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintringstemperatur er 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tilsett 0,05 ~ 0,1% MgO, sintringsevnen er utmerket, så den kan brukes på aluminiumoksidkeramikk med en renhet på mer enn 99%.
AES-22S: Karakterisert av høy formingstetthet og lav krympehastighet på sintringslinjen, er den anvendelig for slipformstøping og andre store produkter med nødvendig dimensjonsnøyaktighet.
AES-23 / AES-31-03: Den har en høyere formingstetthet, tiksotropi og en lavere viskositet enn AES-22S.førstnevnte brukes til keramikk, mens sistnevnte brukes som vannredusering for brannsikre materialer, og blir stadig mer populær.
♦ Silisiumkarbid (SiC) egenskaper
Generelle kjennetegn | Renhet av hovedkomponenter (vekt%) | 97 | |
Farge | Svart | ||
Tetthet (g/cm³) | 3.1 | ||
Vannabsorpsjon (%) | 0 | ||
Mekaniske egenskaper | Bøyestyrke (MPa) | 400 | |
Ung modul (GPa) | 400 | ||
Vickers hardhet (GPa) | 20 | ||
Termiske egenskaper | Maksimal driftstemperatur (°C) | 1600 | |
Termisk ekspansjonskoeffisient | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Termisk ledningsevne (W/m x K) | 130 110 | ||
Termisk støtmotstand ΔT (°C) | 300 | ||
Elektriske egenskaper | Volumresistivitet | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektrisk konstant | 10 GHz | - | |
Dielektrisk tap (x 10-4) | - | ||
Q-faktor (x 104) | - | ||
Dielektrisk gjennombruddsspenning (KV/mm) | - |
♦Silisiumnitridkeramikk
Materiale | Enhet | Si3N4 |
Sintringsmetode | - | Gasstrykksintret |
Tetthet | g/cm³ | 3.22 |
Farge | - | Mørk grå |
Vannabsorpsjonshastighet | % | 0 |
Ung modul | Gpa | 290 |
Vickers hardhet | Gpa | 18 - 20 |
Trykkfasthet | Mpa | 2200 |
Bøyestyrke | Mpa | 650 |
Termisk ledningsevne | W/mK | 25 |
Termisk støtmotstand | Δ (°C) | 450 - 650 |
Maksimal driftstemperatur | °C | 1200 |
Volumresistivitet | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrisk konstant | - | 8.2 |
Dielektrisk styrke | kV/mm | 16 |