♦ Aluminiumoksyd (Al2O3)
Precision Ceramic Parts produsert av Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhhimg) kan være laget av keramiske råvarer med høy renhet, 92 ~ 97% aluminiumoksyd, 99,5% aluminiumoksyd,> 99,9% aluminiumoksyd og CIP-kald kald isostatisk pressing. Høytemperatur sintring og presisjonsbearbeiding, dimensjons nøyaktighet på ± 0,001 mm, glatthet opp til RA0.1, bruk temperatur opp til 1600 grader. Ulike farger på keramikk kan gjøres i henhold til kundenes krav, for eksempel: svart, hvitt, beige, mørkerød, etc. De presisjon keramiske delene produsert av vårt selskap er motstandsdyktige mot høy temperatur, korrosjon, slitasje og isolasjon, og kan brukes i lang tid i høy temperatur, vakuum og etsende gassmiljø.
Mye brukt i en rekke halvlederproduksjonsutstyr: rammer (keramisk brakett), substrat (base), arm/ bro (manipulator), mekaniske komponenter og keramisk luftlager.
Produktnavn | Høy renhet 99 aluminiumoksyd keramisk firkantet rør / rør / stang | |||||
Indeks | Enhet | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Tetthet | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Vannabsorpsjon | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintret temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hardhet | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Bøyestyrke (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Trykkstyrke | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Lang tidsarbeidstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks. Arbeidstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumresistivitet | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Anvendelse av keramikk med høy renhet:
1. Brukte på halvlederutstyr: keramisk vakuum chuck, skjæreplate, rengjøringsskive, keramisk chuck.
2. skiveoverføringsdeler: skivehåndtering av chucks, skive skiver, rengjøringsplater av skive, skive optisk inspeksjon sugekopper.
3. LED / LCD Flat Panel Display Industry: Keramisk dyse, keramisk slipeskive, løftestift, pinnebane.
4. Optisk kommunikasjon, solindustri: keramiske rør, keramiske stenger, kretskort Skjermutskrift Keramiske skrapere.
5. Varmebestandige og elektrisk isolerende deler: Keramiske lagre.
For tiden kan aluminiumoksydkeramikk deles inn i høy renhet og vanlig keramikk. Aluminiumoksydkeramikkserien med høy renhet refererer til det keramiske materialet som inneholder mer enn 99,9% Al₂o₃. På grunn av sintringstemperaturen på opptil 1650 - 1990 ° C og dens overføringsbølgelengde på 1 ~ 6μm, blir den vanligvis behandlet til smeltet glass i stedet for platina -digel: som kan brukes som natriumrør på grunn av dets lysoverføring og korrosjonsmotstand mot alkali metall. I elektronikkindustrien kan det brukes som høyfrekvensisolerende materiale for IC-underlag. I henhold til forskjellige innhold i aluminiumoksyd, kan den vanlige aluminiumoksydkeramiske serien deles inn i 99 keramikk, 95 keramikk, 90 keramikk og 85 keramikk. Noen ganger er keramikken med 80% eller 75% av aluminiumoksyd også klassifisert som vanlig aluminiumoksydkeramisk serie. Blant dem brukes 99 aluminiumoksyd keramisk materiale til å produsere digel med høy temperatur, brannsikringsovn og spesielle slitasje-motstandsdyktige materialer, for eksempel keramiske lagre, keramiske tetninger og ventilplater. 95 Aluminiums keramikk brukes hovedsakelig som korrosjonsbestandig slitasjebestandig del. 85 Keramikk blandes ofte i noen egenskaper, og forbedrer dermed elektrisk ytelse og mekanisk styrke. Den kan bruke molybden, niob, tantal og andre metallforseglinger, og noen brukes som elektriske vakuumenheter.
Kvalitetselement (representativ verdi) | Produktnavn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kjemisk sammensetning med lavt natrium enkel sintringsprodukt | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Lol | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
Mgo* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Medium partikkeldiameter (MT-3300, laseranalysemetode) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α krystallstørrelse | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Dannende tetthet ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Sintringstetthet ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Krympende hastighet på sintringslinjen ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO er ikke inkludert i beregningen av renheten til Al₂o₃.
* Ingen skaleringspulver 29,4MPa (300 kg/cm²), sintringstemperaturen er 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Legg til 0,05 ~ 0,1% MgO, sinkingbarheten er utmerket, så den er anvendelig for aluminiumoksydkeramikk med renheten på mer enn 99%.
AES-22s: Karakterisert ved høy formingstetthet og lav krympende hastighet på sintringslinjen, er det aktuelt å skli formstøping og andre store produkter med nødvendig dimensjonell nøyaktighet.
AES-23 / AES-31-03: Den har en høyere formingstetthet, tixotropi og en lavere viskositet enn AES-22s. Førstnevnte er vant til keramikk mens sistnevnte brukes som vannreduserende for brannsikringsmaterialer, og får popularitet.
♦ Silisiumkarbid (SIC) egenskaper
Generelle egenskaper | Renhet av hovedkomponenter (vekt%) | 97 | |
Farge | Svart | ||
Tetthet (g/cm³) | 3.1 | ||
Vannabsorpsjon (%) | 0 | ||
Mekaniske egenskaper | Bøyningsstyrke (MPA) | 400 | |
Young Modulus (GPA) | 400 | ||
Vickers Hardness (GPA) | 20 | ||
Termiske egenskaper | Maksimal driftstemperatur (° C) | 1600 | |
Termisk ekspansjonskoeffisient | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Termisk konduktivitet (w/m x k) | 130 110 | ||
Termisk støtmotstand ΔT (° C) | 300 | ||
Elektriske egenskaper | Volumresistivitet | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Dielektrisk konstant | 10ghz | - | |
Dielektrisk tap (x 10-4) | - | ||
Q Factor (x 104) | - | ||
Dielektrisk nedbrytningsspenning (KV/mm) | - |
♦ Silisiumnitrid keramikk
Materiale | Enhet | Si₃n₄ |
Sintringsmetode | - | Gasstrykk sintret |
Tetthet | g/cm³ | 3.22 |
Farge | - | Mørk grå |
Vannabsorpsjonshastighet | % | 0 |
Ung modul | GPA | 290 |
Vickers hardhet | GPA | 18 - 20 |
Trykkstyrke | MPA | 2200 |
Bøyestyrke | MPA | 650 |
Termisk konduktivitet | W/mk | 25 |
Termisk sjokkmotstand | Δ (° C) | 450 - 650 |
Maksimal driftstemperatur | ° C. | 1200 |
Volumresistivitet | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrisk konstant | - | 8.2 |
Dielektrisk styrke | KV/mm | 16 |