♦Alumina (Al2O3)
Presisjons-keramiske deler produsert av ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kan lages av høyrene keramiske råvarer, 92~97 % alumina, 99,5 % alumina, >99,9 % alumina, og CIP-kaldisostatisk pressing. Høytemperatursintring og presisjonsmaskinering, dimensjonsnøyaktighet på ± 0,001 mm, glatthet opptil Ra0,1, brukstemperatur opptil 1600 grader. Ulike farger på keramikk kan lages i henhold til kundenes krav, for eksempel: svart, hvit, beige, mørkerød, etc. Presisjons-keramiske deler produsert av vårt selskap er motstandsdyktige mot høy temperatur, korrosjon, slitasje og isolasjon, og kan brukes i lang tid i høytemperatur-, vakuum- og korrosivt gassmiljø.
Mye brukt i en rekke halvlederproduksjonsutstyr: Rammer (keramisk brakett), substrat (base), arm/bro (manipulator), mekaniske komponenter og keramiske luftlager.
Produktnavn | Høy renhetsgrad 99 alumina keramisk firkantet rør / rør / stang | |||||
Indeks | Enhet | 85 % Al₂O₃ | 95 % Al₂O₃ | 99 % Al₂O₃ | 99,5 % Al₂O₃ | |
Tetthet | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3,8 | 3.9 | |
Vannabsorpsjon | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintret temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hardhet | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Bøyestyrke (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Trykkfasthet | kgf/cm² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Langvarig arbeidstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks. arbeidstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumresistivitet | 20 ℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Påføring av høyrent aluminiumoksydkeramikk:
1. Brukes på halvlederutstyr: keramisk vakuumchuck, skjæreskive, rengjøringsskive, keramisk CHUCK.
2. Deler for waferoverføring: waferhåndteringschucker, waferskjæreskiver, waferrengjøringsskiver, sugekopper for optisk inspeksjon av wafer.
3. LED/LCD flatskjermindustri: keramisk dyse, keramisk slipeskive, LIFT PIN, PIN-skinne.
4. Optisk kommunikasjon, solindustri: keramiske rør, keramiske stenger, kretskortskjermtrykk keramiske skraper.
5. Varmebestandige og elektrisk isolerende deler: keramiske lagre.
For tiden kan aluminiumoksidkeramikk deles inn i høyrenhetskeramikk og vanlig keramikk. Serien med høy renhetskeramikk av aluminiumoksid refererer til keramiske materialer som inneholder mer enn 99,9 % Al₂O₃. På grunn av sintringstemperaturen på opptil 1650–1990 °C og transmisjonsbølgelengden på 1–6 μm, blir den vanligvis bearbeidet til smeltet glass i stedet for platinadigel: som kan brukes som natriumrør på grunn av lysgjennomgang og korrosjonsbestandighet mot alkalimetaller. I elektronikkindustrien kan den brukes som høyfrekvent isolasjonsmateriale for IC-substrater. I henhold til ulikt innhold av aluminiumoksid kan den vanlige aluminiumoksidkeramikkserien deles inn i 99 keramikk, 95 keramikk, 90 keramikk og 85 keramikk. Noen ganger klassifiseres også keramikk med 80 % eller 75 % aluminiumoksid som vanlig aluminiumoksidkeramikkserie. Blant disse brukes 99 aluminiumoksid keramisk materiale til å produsere høytemperaturdigler, brannsikre ovnsrør og spesielle slitesterke materialer, som keramiske lagre, keramiske tetninger og ventilplater. 95 aluminiumskeramikk brukes hovedsakelig som korrosjonsbestandig slitesterk del. 85 keramikk blandes ofte med noen egenskaper, noe som forbedrer elektrisk ytelse og mekanisk styrke. Det kan brukes molybden, niob, tantal og andre metalltetninger, og noen brukes som elektriske vakuumenheter.
Kvalitetsvare (representativ verdi) | Produktnavn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kjemisk sammensetning Lavnatrium Lett sintringsprodukt | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0� | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0� | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Medium partikkeldiameter (MT-3300, laseranalysemetode) | mikrometer | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Krystallstørrelse | mikrometer | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formingstetthet** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sintringstetthet** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Krympehastighet for sintringslinje** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO er ikke inkludert i beregningen av renheten til Al₂O₃.
* Uten skaleringspulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintringstemperatur er 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Tilsett 0,05 ~ 0,1 % MgO, sintringsevnen er utmerket, så den kan brukes på aluminiumoksidkeramikk med en renhet på over 99 %.
AES-22S: Karakterisert av høy formingstetthet og lav krympehastighet i sintringslinjen, er den anvendelig for glidestøping og andre storskala produkter med nødvendig dimensjonsnøyaktighet.
AES-23 / AES-31-03: Den har høyere formingstetthet, tiksotropi og lavere viskositet enn AES-22S. Førstnevnte brukes til keramikk, mens sistnevnte brukes som vannreduserende middel for brannsikre materialer, og blir stadig mer populært.
♦Kjennetegn på silisiumkarbid (SiC)
Generelle egenskaper | Renhet av hovedkomponenter (vekt%) | 97 | |
Farge | Svart | ||
Tetthet (g/cm³) | 3.1 | ||
Vannabsorpsjon (%) | 0 | ||
Mekaniske egenskaper | Bøyestyrke (MPa) | 400 | |
Ung modulus (GPa) | 400 | ||
Vickers-hardhet (GPa) | 20 | ||
Termiske egenskaper | Maksimal driftstemperatur (°C) | 1600 | |
Termisk ekspansjonskoeffisient | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10⁻⁶) | RT~800°C | 4.3 | |
Varmeledningsevne (W/m x K) | 130 110 | ||
Termisk sjokkmotstand ΔT (°C) | 300 | ||
Elektriske egenskaper | Volumresistivitet | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektrisk konstant | 10 GHz | - | |
Dielektrisk tap (x 10⁻⁴) | - | ||
Q-faktor (x 104) | - | ||
Dielektrisk gjennomslagsspenning (KV/mm) | - |
♦Silisiumnitridkeramikk
Materiale | Enhet | Si₃N₄ |
Sintringsmetode | - | Sintret gasstrykk |
Tetthet | g/cm³ | 3.22 |
Farge | - | Mørk grå |
Vannabsorpsjonshastighet | % | 0 |
Ung modulus | GPA | 290 |
Vickers-hardhet | GPA | 18–20 |
Trykkfasthet | MPa | 2200 |
Bøyestyrke | MPa | 650 |
Termisk konduktivitet | W/mK | 25 |
Termisk sjokkmotstand | Δ (°C) | 450–650 |
Maksimal driftstemperatur | °C | 1200 |
Volumresistivitet | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrisk konstant | - | 8.2 |
Dielektrisk styrke | kV/mm | 16 |