Ultrapresisjons granittbase for waferinspeksjon og metrologi

1. Overlegen materialvitenskap: ZHHIMG® svart granitt

I motsetning til standard granitt eller, enda verre, marmor av lavere kvalitet som brukes av mindre samvittighetsfulle produsenter, er ZHHIMG-baser utelukkende konstruert av vår proprietære ZHHIMG® Black Granite.

● Eksepsjonell tetthet: Materialet vårt har en imponerende tetthet på ≈ 3100 kg/m³, som er bedre enn mange konvensjonelle svarte granitter fra Europa og Amerika.

● Termisk stabilitet: Den høye tettheten og minimale vannabsorpsjonen sikrer overlegen dimensjonsstabilitet, noe som reduserer effekten av termisk drift drastisk under kritiske inspeksjonssykluser.

● Vibrasjonsdemping: Den naturlige mineralstrukturen gir enestående intern demping, som er viktig for å isolere sensitiv optikk og sensorer fra ekstern vibrasjon.

2. Uovertruffen produksjons- og monteringskapasitet

Vår forpliktelse til presisjon er oppsummert i vår kjerneverdi: «Presisjonsbransjen kan ikke være for krevende.»

● Mesterlig håndverk: Våre baser er håndsleppet av mesterteknikere, mange med over 30 års erfaring, som kan oppnå overflateplanhet og parallellitet ned til nanometernivå – presisjon bekreftet av Renishaw laserinterferometre og WYLER elektroniske nivåer.

● Kontrollert miljø: Maskinering og sluttmontering utføres i vårt 10 000 m² store temperatur- og fuktighetskontrollerte renrom (som simulerer strenge forhold i halvlederfabrikken). Dette anlegget har et 1000 mm tykt betongfundament og 2000 mm dype antivibrasjonsgrøfter, noe som sikrer et virkelig stabilt metrologimiljø.

3. Integrert presisjonsdesign (som vist på bildet)

Basen leveres vanligvis som en kompleks montering, ofte inkludert:

● L-formede/portalstrukturer: Utformet for å støtte den vertikale bevegelsen (Z-aksen) til bildehodene, noe som sikrer ortogonalitet og geometrisk nøyaktighet.

● Presisjonsspor og -innsatser: Forbearbeidede overflater med gjengede stålinnsatser og presisjonsdybelhull for montering av luftlagre, lineære motorer (XY-bord), visjonssystemer og føringsskinner (THK, HIWIN, Rexroth).

● Tilpasning: Vi spesialiserer oss på storskala maskinering, og kan levere monolittiske granittfundamenter opptil 20 m i lengde og 100 tonn i vekt, skreddersydd nøyaktig til utstyrsrammen din.