Granitt luftlagersystemer er mye brukt iultrapresisjonbevegelsesplattformer for halvlederproduksjon, optisk justering og nanometerskala-metrologi.
Disse systemene eliminerer mekanisk kontakt ved å bruke en tynn trykkluftfilm, noe som oppnår nesten null friksjon i bevegelse.
Prinsipp for luftlager
Luftlagre fungerer ved å føre trykkluft mellom to overflater, og danner en 2–20 μm luftfilm.
Dette eliminerer:
- Mekanisk friksjon
- Bruk
- Stick-slip-oppførsel
Systemet er avhengig av fluidfilmdynamikk og stabil laminær strømning.
Granittens rolle
Granitt tilbyr:
- Strukturell stabilitet
- Termisk driftundertrykkelse
- Vibrasjonsdemping
Den fungerer som den mekaniske referansebasen for bevegelsessystemet.
Systemkomponenter
- Granittbase
- Luftlagerputer
- Lufttilførselssystem
- Presisjonskodere
- Bevegelseskontrollsystem
Ytelsesegenskaper
Typisk ytelse inkluderer:
- Submikron posisjoneringsnøyaktighet
- Høy retthet over lange vandringer
- Null mekanisk tilbakeslag
Viktige feilkilder inkluderer ustabilitet i lufttrykket, termisk drift og koderfeil.
Bruksområder
- Inspeksjon av halvlederskiver
- Litografisystemer
- Optiske justeringsplattformer
- Avanserte målemaskiner
Vanlige spørsmål
Blir luftlagre slitt ut?
Ingen mekanisk kontakt eliminerer slitasje.
Hvorfor bruke granitt?
For stabilitet og vibrasjonsdemping.
Hva begrenser nøyaktigheten?
Luftstabilitet og termiske effekter.
Kan de bære tunge lass?
Ja, avhengig av designet.
Publisert: 03.07.2026