Granitt er et hardt og slitesterkt materiale som ofte brukes i byggebransjen. Det har imidlertid også egenskaper som gjør det nyttig i halvlederproduksjon, spesielt i fabrikasjon og prosessering av integrerte kretser. Granittkomponenter, som granittbord og granittblokker, er mye brukt på grunn av sin stabilitet, flathet og lave termiske utvidelseskoeffisient.
En av de primære bruksområdene for granittkomponenter i halvlederproduksjon er i fabrikasjonsprosessen. Silisiumskiver, de grunnleggende byggesteinene i integrerte kretser, må produseres med høy presisjon og nøyaktighet. Enhver forvrengning eller bevegelse under prosessen kan føre til defekter som kan påvirke kvaliteten og funksjonaliteten til de integrerte kretsene. Granittbord, med sin høye stabilitet og flathet, gir en god plattform for waferbehandlingsutstyret. De er også motstandsdyktige mot termisk utvidelse og sammentrekning forårsaket av oppvarming og kjøling som kreves i prosessen.
Granittblokker brukes også i halvlederprosessering for sin termiske stabilitet. Under etsnings- eller avsetningsprosesser brukes varme gasser eller plasmaer til å modifisere overflaten på silisiumskiven. Temperaturen på skiven må kontrolleres for å sikre at prosessen utføres effektivt og nøyaktig. Granittblokker, med sin lave termiske utvidelseskoeffisient, bidrar til å stabilisere temperaturen på skiven, noe som reduserer risikoen for temperatursvingninger som kan påvirke kvaliteten på det bearbeidede materialet.
Bortsett fra fabrikasjons- og prosesseringsprosessene, brukes granittkomponenter også i metrologi- og inspeksjonsfasene i halvlederproduksjon. Metrologiske målinger utføres for å sikre at størrelsen, formen og plasseringen av strukturene på waferen er innenfor de nødvendige spesifikasjonene. Granittblokker brukes som referansestandarder i disse målingene på grunn av deres dimensjonsstabilitet og nøyaktighet. De brukes også i inspeksjonsfaser, der kvaliteten på de integrerte kretsene kontrolleres under høy forstørrelse.
Totalt sett har bruken av granittkomponenter i halvlederproduksjon økt de siste årene. Behovet for høy presisjon, nøyaktighet og stabilitet i fabrikasjon og prosessering av integrerte kretser har drevet halvlederprodusenter til at disse materialene er blitt mer populære. Granittens unike egenskaper, som hardhet, stabilitet og lave termiske utvidelseskoeffisient, gjør den til et utmerket valg for bruk i disse prosessene. Med fortsatt utvikling og forbedring av halvlederteknologi forventes bruken av granittkomponenter å øke ytterligere i fremtiden.
Publisert: 05. des. 2023