Granitt er et hardt og holdbart materiale som ofte brukes i byggebransjen. Imidlertid har den også egenskaper som gjør det nyttig i halvlederproduksjon, spesielt i fremstilling og prosessering av integrerte kretsløp. Granittkomponenter, for eksempel granittbord og granittblokker, er mye brukt for deres stabilitet, flathet og lav termisk ekspansjonskoeffisient.
En av de primære bruken av granittkomponenter i halvlederproduksjon er i fabrikasjonsprosessen. Silisiumskiver, de grunnleggende byggesteinene til integrerte kretsløp, må fremstilles med høy presisjon og nøyaktighet. Enhver forvrengning eller bevegelse under prosessen kan føre til feil som kan påvirke kvaliteten og funksjonaliteten til de integrerte kretsløpene. Granittbord, med sin høye stabilitet og flathet, gir en god plattform for wafer -prosessutstyr. De er også motstandsdyktige mot termisk ekspansjon og sammentrekning forårsaket av oppvarming og kjøling som kreves i prosessen.
Granittblokker brukes også i halvlederbehandling for deres termiske stabilitet. Under etsing eller avsetningsprosesser brukes varme gasser eller plasmaer for å modifisere overflaten til silisiumskiven. Temperaturen på skiven må kontrolleres for å sikre at prosessen utføres effektivt og nøyaktig. Granittblokker, med deres lave termiske ekspansjonskoeffisient, er med på å stabilisere temperaturen på skiven, noe som reduserer risikoen for temperatursvingninger som kan påvirke kvaliteten på det bearbeidede materialet.
Bortsett fra fabrikasjons- og prosesseringsprosessene, brukes granittkomponenter også i metrologi- og inspeksjonsstadiene av halvlederproduksjon. Metrologimålinger gjøres for å sikre at størrelsen, formen og plasseringen av strukturene på skiven er innenfor de nødvendige spesifikasjonene. Granittblokker brukes som referansestandarder i disse målingene på grunn av deres dimensjonale stabilitet og nøyaktighet. De brukes også i inspeksjonsstadier, der kvaliteten på de integrerte kretsløpene kontrolleres under høy forstørrelse.
Totalt sett har bruken av granittkomponenter i halvlederproduksjon økt de siste årene. Behovet for høy presisjon, nøyaktighet og stabilitet i fabrikasjon og prosessering av integrerte kretsløp har drevet adopsjonen av disse materialene fra halvlederprodusenter. De unike egenskapene til granitt, for eksempel hardhet, stabilitet og lav termisk ekspansjonskoeffisient, gjør det til et utmerket valg for bruk i disse prosessene. Med fortsatt utvikling og forbedring av halvlederteknologi forventes bruken av granittkomponenter å vokse videre i fremtiden.
Post Time: DEC-05-2023