Granitt er et hardt og slitesterkt materiale som ofte brukes i byggebransjen.Imidlertid har den også egenskaper som gjør den nyttig i halvlederproduksjon, spesielt ved fremstilling og prosessering av integrerte kretser.Granittkomponenter, som granittbord og granittblokker, er mye brukt for deres stabilitet, flathet og lave termiske ekspansjonskoeffisient.
En av de viktigste bruksområdene for granittkomponenter i halvlederproduksjon er i fabrikasjonsprosessen.Silisiumskiver, de grunnleggende byggesteinene i integrerte kretser, må fremstilles med høy presisjon og nøyaktighet.Enhver forvrengning eller bevegelse under prosessen kan føre til defekter som kan påvirke kvaliteten og funksjonaliteten til de integrerte kretsene.Granittbord, med sin høye stabilitet og flathet, gir en god plattform for waferbehandlingsutstyret.De er også motstandsdyktige mot termisk ekspansjon og sammentrekning forårsaket av oppvarming og avkjøling som kreves i prosessen.
Granittblokker brukes også i halvlederbehandling for deres termiske stabilitet.Under etse- eller avsetningsprosesser brukes varme gasser eller plasmaer for å modifisere overflaten til silisiumplaten.Temperaturen på waferen må kontrolleres for å sikre at prosessen utføres effektivt og nøyaktig.Granittblokker, med sin lave termiske ekspansjonskoeffisient, bidrar til å stabilisere temperaturen på waferen, og reduserer risikoen for temperatursvingninger som kan påvirke kvaliteten på det behandlede materialet.
Bortsett fra fabrikasjons- og prosesseringsprosessene, brukes granittkomponenter også i metrologi- og inspeksjonsstadiene av halvlederproduksjon.Metrologiske målinger gjøres for å sikre at størrelsen, formen og plasseringen av strukturene på skiven er innenfor de nødvendige spesifikasjonene.Granittblokker brukes som referansestandarder i disse målingene på grunn av deres dimensjonsstabilitet og nøyaktighet.De brukes også i inspeksjonstrinn, hvor kvaliteten på de integrerte kretsene kontrolleres under høy forstørrelse.
Samlet sett har bruken av granittkomponenter i halvlederproduksjon økt de siste årene.Behovet for høy presisjon, nøyaktighet og stabilitet i produksjon og prosessering av integrerte kretser har drevet bruken av disse materialene av halvlederprodusenter.Granittens unike egenskaper, som hardhet, stabilitet og lave termiske ekspansjonskoeffisient, gjør den til et utmerket valg for bruk i disse prosessene.Med fortsatt utvikling og forbedring av halvlederteknologi forventes bruken av granittkomponenter å vokse ytterligere i fremtiden.
Innleggstid: Des-05-2023