Er presisjonsgranitt det beste materialet for halvlederlitografikomponenter?

På grunn av sin ikke-magnetiske natur, høye stivhet og nesten null termiske ekspansjon, er Precision Granite det essensielle materialet for å sikre presisjon på nanometernivå i litografi og metrologi.

Ikke-magnetisk og kjemisk stabilitet

I de høyintensitetselektromagnetiske miljøene i halvlederproduksjon,Granittkomponenterforhindrer interferens på grunn av deres ikke-magnetiske egenskaper. Videre er granitt kjemisk inert og avgir ikke gasser eller produserer partikler, noe som gjør den perfekt for renromsmiljøer i ISO klasse 1.

Ultimat fysisk stivhet og krypemotstand

Den svarte granitten med høy tetthet valgt av ZHHIMG tilbyr ekstrem hardhet. Under langvarig belastning viser den praktisk talt ingen fysisk krypning, noe som gir et permanent stabilt fundament for XY-trinn og sikrer konsistent repeterbar posisjoneringsnøyaktighet over mange års drift.

Naturlig fordel i termisk ekspansjon

Halvlederprosesser er ekstremt følsomme for varme. Granitts lave termiske utvidelseskoeffisient oppveier varmen som genereres av presisjonsmotorer. Kombinert med vår høypresisjonsmaskinering sikrer dette at komponentene opprettholder sin geometriske integritet på tvers av varierende driftstemperaturer.

Matrise for materialytelse

Vanlige spørsmål: Presisjonsgranitt

1. Hvorfor velge «svart» granitt? Den har høyere tetthet, lavere vannabsorpsjon og bedre stabilitet enn grå granitt.

2. Hvilke presisjonskvaliteter tilbyr dere? Vi produserer opptil DIN 876 grad 000-standarder.

3. Hva er maksimal størrelse? ZHHIMG kan behandle enkeltstykker opptil 12 meter lange.

4. Hvordan vedlikeholder jeg granittkomponenter? Bruk spesialiserte pH-nøytrale rengjøringsmidler og unngå kontakt med sure stoffer.

5. Kan dere bore hull til innsatser? Ja, vi tilbyr presisjonsboring og sekundærliming for innsatser i rustfritt stål.

6. Er den egnet for bruk i vakuum? Absolutt, naturlig granitt avgir ikke gass i vakuumforhold.